Der britische Hersteller von optischen Direktbeschreibern, Durham Magneto Optics Ltd. (DMO), präsentiert eine Reihe von Neuheiten und Verbesserungen nicht nur für neue, sondern auch für bestehende Systeme der Microwriter ML3-Serie.
Zu den bahnbrechenden Verbesserungengehören die Möglichkeit, zwei Belichtungsquellen gleichzeitig einzusetzen (405 nm und 365 nm), sowie die Möglichkeit der Submikron-Belichtung (600 nm) bereits ab der Version „Baby Plus“. Und das ist noch nicht alles!
Gleichzeitig bringt der Hersteller einvöllig neues System mitextra großem Arbeitsbereich für bis zu 12“-Wafer auf den Markt – den optischen LithografenMicrowriter XL mit einem Beschreibungsbereich von 295 mm x 295 mm und einer Auflösung von bis zu 400 nm.
Miteinem kostenlosen Software-Update können zudem nun alle Systeme der Microwriter ML3-Serie das Kommunikationsmodul für automatische Benachrichtigungen über den Status von Beschriftungsaufträgen nutzen (z. B. wird nach Abschluss der Beschriftung eine E-Mail versendet). Diese Funktion steht allen Anwendern zur Verfügung, um die Arbeitseffizienz bei zeitaufwändigeren Aufgaben zu steigern.
Die wichtigsten Merkmale der Dual-Wavelength-Option:
Die Dual-Wavelength-Option (Möglichkeit, zwei Belichtungsquellen gleichzeitig einzusetzen) ist die ideale Lösung für alle, die Spitzenergebnisse bei i-Line (z. B. SU-8) sowie bei H- und G-Line-Fotolacken erzielen möchten, ohne die Belichtungszeit zu verlängern und ohne Kompromisse beim Wandprofil und der Belichtungsauflösung einzugehen. Sie werden auch von der langen Lebensdauer des Systems, der hohen optischen Leistung und der Flexibilität der Lösung angenehm überrascht sein. Mit dieser Innovation können Sie nämlich Ihre bestehende Lithografieanlage erweitern, um mit einer noch größeren Bandbreite an lichtempfindlichen Materialien zu arbeiten. Die Belichtungsquellen selbst können nach Ihren Wünschen ausgewählt werden – typischerweise 365 nm und 405 nm.
Die wichtigsten Merkmale des Microwriter XL:
Der Microwriter XL, ein auf dem Modell Microwriter ML3 Pro basierendes System, behält die Spitzenleistung seines Vorgängers bei und bietet zusätzlichen Platz nicht nur für einen größeren Beschriftungsbereich, sondern auch für mögliche kundenspezifische Anpassungen bei der Befestigung und Handhabung von Proben.
Neben der Beschriftung einer Fläche von bis zu 295 mm x 295 mm lassen sich so beispielsweise zusätzliche Positionierungs- und Spannvorrichtungen hinzufügen oder das System für die Beschriftung einer großen Anzahl kleinerer Proben nutzen.
Dank der automatischen Erkennung von Oberfläche und Form können im Rahmen eines einzigen Auftrags auch Substrate unterschiedlicher Dicke und unregelmäßiger Form beschriftet werden.
Neben der unübertroffenen Leistung bietet der Microwriter XL auch weitere Vorteile der Microwriter-Version ML3 Pro, wie beispielsweise den Virtual Mask Aligner, den Wide-Field-Viewer, das optische Profilometer, die aktive Temperaturstabilisierung, den vibrationsgedämpften Tisch, die Fokussperre, die Kantenerkennung, die automatische Markererkennung und nicht zuletzt die automatische Probenzentrierung.
Wichtigste Merkmale des Kommunikationsmoduls:
Der Versand von Benachrichtigungen per E-Mail ist eines der wichtigsten Instrumente zur Steigerung der Arbeitseffizienz. Bei längeren Schreibvorgängen ermöglicht er die Fernüberwachung des Aufzeichnungsstatus, sodass das System unbeaufsichtigt bleiben kann. Benachrichtigungen können nicht nur nach Abschluss des gesamten Auftrags versendet werden, sondern auch zur Überwachung des gesamten Aufzeichnungsvorgangs.
Wie alle Software-Updates ist auch dieses für bestehende Kunden völlig kostenlos.
Für weitere Informationen zu den Neuerungen können Siesich gerne an unswenden.
