Im Jahr 2020 stellte Coherent eine Erweiterung der LEAP-Excimerlaser-Produktreihe vor, die nun eine industrielle Lösung mit einer Wellenlänge von 193 nm bietet.
Die Wellenlänge von 193 nm bietet mehrere Vorteile für die Mikrobearbeitung und für Anwendungen, bei denen eine Eindringtiefe im Nanometerbereich erreicht werden muss. Dieses neue Modell findet beispielsweise in der Laser-Pulsabscheidung (PLD) Anwendung.