OptiXs lädt Sie zu einem von SIOS Messtechnikorganisierten Webinar ein , das Ihnen in 45 Minuten einen Einblick in die Thematik der hochpräzisen Dickenmessung mit Messgeräten mit Kontaktsonde vermittelt.
Aktuelle Trends in Wissenschaft und Industrie stellen hohe Anforderungen an präzise Messsysteme, insbesondere an deren Fähigkeit, die geometrischen Abmessungen von Objekten zu bestimmen. Eine besonders interessante Anwendung ist unter anderem die eindimensionale Materialdickenmessung.
Speziell entwickelte Messsysteme auf Basis von Berührungssonden mit präziser interferometrischer Messung sind in der Lage, die Dicke mit einer Messunsicherheit im Bereich von wenigen Nanometern zu bestimmen. Der Messbereich reicht von einigen zehn Nanometern bis zu einigen zehn Millimetern.
Sie stellen daher ein effizientes Werkzeug nicht nur für den Vergleich von Messblöcken dar, sondern auch für die Dickenmessung von optischen Elementen und Siliziumwafern.
Zeitplan:
- Geometrische Eigenschaften der Dicke
- Grundprinzipien der Dickenmessung mit einer berührenden Sonde
- Welche Faktoren beeinflussen die Messgenauigkeit?
- SIOS-Interferometer-Tastsonden LM 20 und LM 50
- Anwendungsbeispiel: Vergleich von Messblöcken
- Anwendungsbeispiel: Dickenmessung von Linsen
- Anwendungsbeispiel: Dickenmessung von Wafern
- Wie lassen sich Auflösung und Genauigkeit bestehender Systeme zur Längen- und Dickenmessung mit einem Interferometer verbessern?
Wann? 8.3.2022