Optischer Lithograf für die Mikroverdrahtung

Ein System, das die Belichtung hochauflösender Strukturen ermöglicht, wobei sowohl große Flächen als auch mehrere Fragmente im Submillimeterbereich gleichzeitig belichtet werden können.

Möglichkeit der Mehrfachbelichtung mit präziser Ausrichtung und virtueller Vorschau vor der Belichtung.

Belichtungsquelle, geeignet für eine breite Palette von Fotolacken (g-, h-, i-Line- und Breitband-Fotolacke)

Stabiles System für zeitaufwändige, großflächige Belichtungen in hoher Auflösung.

• Mikro-Kontaktierung mit präziser Ausrichtung (< 500 nm)
• Schnelle, großflächige Belichtung mit Temperaturstabilisierung
• Hohe Auflösung: 400 nm

Im Januar 2021 haben wir für das J. Heyrovský-Institut für Physikalische Chemie der Tschechischen Akademie der Wissenschaften einen Microwriter ML3 Pro des britischen Herstellers Durham Magneto Optics Ltd. (DMO) installiert.

Es handelt sich um ein System mit einer Auflösung von 400 nm und einem hochpräzisen Positioniersystem.

Die Belichtungsquelle mit einer Wellenlänge von 385 nm und hoher optischer Leistung ermöglicht das Belichten von gängigen g-Line- und h-Line-Fotolacken, aber auch des beliebten i-Line-Fotolacks SU-8.

Die Temperaturstabilisierung gewährleistet wiederum maximale Stabilität auch bei längeren Belichtungsvorgängen.

Die Funktion des integrierten Profilometers ermöglicht unter anderem die Überprüfung der Belichtung nach der Strukturentwicklung.

Die Funktion „Virtual Mask Aligner“ (VMA) zur präzisen Ausrichtung der Belichtung auf bestehende Strukturen dient der exakten und einfachen Mikroverdrahtung. Der Microwriter ML3 ermöglicht zudem die Belichtung in Graustufen.

Geräteparameter

• Wellenlänge der Lichtquelle: 385 nm
• Temperaturstabilisierung: ± 0,25 °C
• Schreibauflösung: 400 nm, 600 nm, 1000 nm, 2000 nm und 5000 nm
• Anzahl der Objektive: 5 (3- bis 50-fache Vergrößerung)

Weitere Funktionen: VMA, Weitwinkelbetrachter, integriertes Profilometer, Autofokus, Fokusarretierung, virtuelle Rotation, automatische Probenzentrierung, automatische Kantenerkennung