Für den Auftrag des Kunden haben wir uns für den Microwriter ML3 Pro des britischen Herstellers Durham Magneto Optics Ltd. (DMO) entschieden.
Es handelt sich um ein System, das sich sowohl für die Mikrofluidik als auch für die Mikrokontaktierung, MEMS, Wellenleiter oder Lab-on-a-Chip-Anwendungen eignet.
Die Belichtungsquelle mit einer Wellenlänge von 385 nm und hoher optischer Leistung ermöglicht das Belichten von gängigen G-Line- und H-Line-Fotolacken, aber auch des beliebten I-Line-Fotolacks SU-8 und weiterer Materialien.
Die Funktion des integrierten Profilometers ermöglicht unter anderem die Überprüfung der Belichtung nach der Entwicklung der Struktur.
Zu den weiteren Schlüsselparametern gehören die Möglichkeit der Belichtung in Graustufen, ein 10-fach-Objektiv für hohe Auflösung (1 µm) und ein zweites Objektiv mit großer Schärfentiefe für Strukturen mit hohem Höhen-Breiten-Verhältnis (Auflösung 5 µm).
Das gelieferte System kann in Zukunft auf eine höhere Auflösung, Temperaturstabilisierung, virtuelle Maskenprojektion, die Möglichkeit der Ausrichtung anhand von Markern auf der Rückseite des Wafers, eine zweite Belichtungswellenlänge und weitere Funktionen erweitert werden.
Geräteparameter
- Wellenlänge der Lichtquelle: 385 nm
- Aufzeichnungsauflösung: 1 µm und 5 µm
- Anzahl der Objektive: 2 (3- bis 10-fache Vergrößerung)
- Weitere Funktionen: Wide-Field-Viewer, integriertes Profilometer, Autofokus, Fokusverriegelung, virtuelle Rotation, automatische Probenzentrierung, automatische Kantenerkennung
