Microwriter ML3 Pro des britischen Herstellers Durham Magneto Optics Ltd. (DMO).
Es handelt sich um ein System mit einer Auflösung von 600 nm und einem hochpräzisen Positioniersystem.
Die Belichtungsquelle mit einer Wellenlänge von 385 nm und hoher optischer Leistung ermöglicht das Belichten von gängigen G-Line- und H-Line-Fotolacken, aber auch des beliebten I-Line-Fotolacks SU-8.
Die Temperaturstabilisierung gewährleistet maximale Stabilität auch bei längeren Belichtungsvorgängen.
Die Funktion des integrierten Profilometers ermöglicht unter anderem die Überprüfung der Belichtung nach der Entwicklung der Struktur.
Die Funktion „Virtual Mask Aligner“ (VMA) zur präzisen Ausrichtung der Belichtung auf bestehende Strukturen dient der exakten und einfachen Mikroverdrahtung. Möglichkeit der Belichtung in Graustufen.
Geräteparameter
- Wellenlänge der Lichtquelle: 385 nm
- Temperaturstabilisierung: ± 0,25 °C
- Auflösungsvermögen: 600 nm, 1000 nm, 2000 nm und 5000 nm
- Anzahl der Objektive: 4 (3- bis 20-fache Vergrößerung + Digitalzoom)
- Weitere Funktionen: VMA, Weitfeldbetrachter, integriertes Profilometer, Autofokus, Fokusarretierung, virtuelle Rotation, automatische Probenzentrierung, automatische Kantenerkennung
Fakultät für Elektrotechnik, Technische Universität Prag
