Im August 2021 haben wir für das Institut für Analytische Chemie der Tschechischen Akademie der Wissenschaften einen Microwriter ML3 Pro des britischen Herstellers Durham Magneto Optics Ltd. (DMO) installiert. Eine der Hauptanwendungen ist die Herstellung von Strukturen für die Spintronik (beispielsweise zur Untersuchung spintronischer Hall-Effekte).
Es handelt sich um ein System mit wählbarer Auflösung im Bereich von 0,4 µm bis 5 µm und einem hochpräzisen Positioniersystem.
Die Belichtungsquelle mit einer Wellenlänge von 385 nm und hoher optischer Leistung eignet sich optimal für i-Line-Fotolacke, ermöglicht aber auch das Belichten herkömmlicher g-Line- und h-Line-Fotolacke.
Die Temperaturstabilisierung gewährleistet maximale Stabilität auch bei längeren Belichtungsvorgängen (typischerweise bei Kombinationen aus hoher Auflösung und großer Fläche oder beim Belichten mehrerer Proben unterschiedlicher Abmessungen).
Die Funktion des integrierten Profilometers ermöglicht unter anderem die Überprüfung der Belichtung nach der Strukturentwicklung.
Die Funktion „Virtual Mask Aligner“ (VMA) zur präzisen Ausrichtung der Belichtung auf bestehende Strukturen dient der genauen und einfachen Mikroverdrahtung. Der Microwriter ML3 ermöglicht zudem das Beschreiben in Graustufen.
Geräteparameter
- Wellenlänge der Lichtquelle: 385 nm
- Temperaturstabilisierung: ± 0,25 °C
- Schreibauflösung: 400 nm, 600 nm, 1000 nm, 2000 nm und 5000 nm
- Anzahl der Objektive: 5 (3- bis 50-fache Vergrößerung)
- Schreibbereich: 195 mm × 195 mm
Weitere Funktionen: VMA, Weitwinkelbetrachter, integriertes Profilometer, Autofokus, Fokusarretierung, virtuelle Rotation, automatische Probenzentrierung, automatische Kantenerkennung, automatische Markierungserkennung
