Profil- und Rauheitsmessgeräte Zygo ZeGage Pro™ und ZeGage Pro HR™ eignen sich für die berührungslose quantitative Messung des 3D-Profils und der Rauheit von Proben. Dank seiner Konstruktion ist das System vibrationsfest, sodass das Profilmessgerät direkt auf den Arbeitstisch in der Fertigung gestellt werden kann, ohne dass eine externe Isolierung erforderlich ist.
Wichtigste Merkmale
- Berührungslose Oberflächenmesstechnik ohne Vorbehandlung des Messobjekts
- Vibrationsfestigkeit
- Kostengünstige Variante für präzise Messungen
- Messgeschwindigkeit von bis zu 171 µm/s
- Genauigkeit bis in den Sub-Nanometer-Bereich
- Große Auswahl an Objektiven
- Interaktive 3D-Oberflächenkarten
- Flexible messtechnische Analyse
- Umfassende Software zur Visualisierung und Datenanalyse Zygo Mx™
ZeGage Pro mit Nanometer- und ZeGage Pro HR mit Sub-Nanometer-Messgenauigkeit erfüllen die Norm ISO 25178 für die 3D-Oberflächenanalyse. Die hohe Auflösung der Kamera gewährleistet eine schnelle (im Sekundenbereich) und präzise Messung der Oberflächendetails der Proben. Das Profilometer ist in der Lage, sowohl 2D- als auch 3D-Messungen verschiedener Oberflächen durchzuführen, darunter glatte, raue und strukturierte Oberflächen.
Die mitgelieferte Mx™ Software ermöglicht eine erweiterte Analyse und Visualisierung der Messdaten, einschließlich der Bestimmung messtechnischer Größen wie Rauheitsprofil (Ra, Rz, Rq usw.), negativer und positiver Volumenanteile und weiterer Parameter.
