Dank der technologischen Fortschritte der letzten Jahre ist es möglich, Oberflächen mit immer höherer Präzision zu bearbeiten. Mehr denn je
werden daher hohe Anforderungen an die Qualität und Genauigkeit der Messung der Oberflächenstruktur selbst gestellt.
Im Zusammenhang mit der
Messung der Oberflächenrauheit lassen sich drei wichtige Faktoren identifizieren: Oberflächenmessung, Datenanalyse und Berichterstellung
der Ergebnisse.
Oberflächenmessung
Bei der Oberflächenmessung spielt die Genauigkeit eine entscheidende Rolle. Ohne hohe Genauigkeit lässt sich die Richtigkeit der gemessenen Rauheitswerte nicht gewährleisten. Die optischen 3D-Profilmessgeräte von Zygo machen die Erfassung präziser Daten zu einem schnellen und einfachen Vorgang. Mithilfe der SmartSetup™-Technologie können Sie zudem mit nur einem Knopfdruck eine vollständige Messung durchführen. Von der automatischen Oberflächenerkennung über die Anpassung der Parameter bis hin zur eigentlichen Oberflächenmessung – alles mit einem einzigen Klick.
Datenanalyse
Wie bei jeder Oberflächenrauheitsmessung müssen die Rohdaten zunächst von Informationen bereinigt werden, die beispielsweise Aufschlüsselung und Form der Oberfläche betreffen. Wenn Sie diesen Prozess vereinfachen möchten, istdie Mx™-Software von Zygo die richtige Wahl.
Ergebnisbericht
In der Vergangenheit war Ra (die arithmetische Mittelwertabweichung des Rauheitsprofils) die wichtigste Größe zur Bestimmung der Oberflächenrauheit. Obwohl es sich zweifellos um einen wichtigen Wert handelt, würde eine ausschließliche Konzentration darauf uns wichtige Ergebnisse vorenthalten. Neben der aussagekräftigeren Erweiterung des linearen Parameters Ra um dessen flächige Alternative Sa gibt es gleich mehrere weitere Werte, mit denen sich spezifische Eigenschaften der Oberflächentopografie besser und treffender beschreiben lassen:
- Interessiert Sie die Symmetrie der Oberfläche – sind für die Oberfläche eher Erhebungen oder Vertiefungen charakteristisch?
- Ssk (Neigung der betrachteten Fläche)
- Interessieren Sie sich für das Vorhandensein ungewöhnlich großer Vertiefungen oder hoher Erhebungen?
- Sku (Spitzigkeit der untersuchten Fläche)
- Interessiert Sie die Dichte der Gipfel?
- Sds (Spitzen-Dichte)
- Interessieren Sie sich für die Oberflächenhaftung, Schmiermittel oder Oberflächenbeschichtungen?
- Sdr (Verhältnis der entfalteten Grenzflächen)
- Interessieren Sie sich für die Änderungsgeschwindigkeit der Oberflächenstruktur?
- Sdq (Quadratischer Mittelwert der Oberflächenneigung)
- Sind die Strukturen auf der Oberfläche periodisch oder eher zufällig?
- Str und Sal (Längsstrukturfaktor und schnellster Abfall der Autokorrelationsfunktion)
Diese Parameter und viele weitere lassen sich automatisch mit unserer Software Mx™ von Zygo auswerten.

