Das spektroskopische Ellipsometer M-2000 des führenden amerikanischen Herstellers J.A. Woollam Co.
Es handelt sich um ein Ellipsometer-System mit einem motorisierten Goniometer für Winkelmessungen und motorisierten Verschiebungen für das Mapping
der Probe. Dank der Kombination aus einem schnellen CCD-Detektor und der patentierten RCE-Technologie (Ellipsometrie mit rotierendem Kompensator)
ermöglicht das M-2000 die Messung von ellipsometrischen Daten über den gesamten Spektralbereich (hier 193–1000 nm) mit extremer Empfindlichkeit in
Bruchteilen einer Sekunde.
Das angebotene System ist vielseitig einsetzbar und eignet sich ideal zur Untersuchung der optischen Eigenschaften von Dünnschichten und
Mehrfachschichten, ihrer Homogenität, zur Erforschung von Nanostrukturen, zur Erkennung von Oberflächenphasenübergängen sowie zur Messung der Konzentrationen
freier Ladungsträger, bietet die Möglichkeit zur Untersuchung der Bandstruktur (einschließlich kritischer Punkte), die Möglichkeit zur
zerstörungsfreien Untersuchung des Brechungsindexprofils in ultradünnen Schichten, die Untersuchung von Biomaterialien und Biooberflächen sowie die zeitlich
aufgelöst ermöglicht es zudem die Messung schneller Prozesse (z. B. der Schichtabscheidung) und vieles mehr...
Die hochmoderne CompleteEase-Software erleichtert die Arbeit mit ellipsometrischen Daten erheblich, bietet die breiteste Palette an analytischen
Modellen und eine Bibliothek mit optischen Eigenschaften einer großen Auswahl an Materialien.
Geräteparameter
- Spektralbereich: 193 – 1000 nm (mit der Möglichkeit einer Erweiterung auf 1690 nm)
- Winkelbereich: 45° – 90°
- Anzahl der messbaren MM-Elemente: 11
- Messzeit für das vollständige Spektrum: < 0,1 s
- Motorisierte Verschiebungen: JA (Bereich 100 mm x 100 mm)
- Proben-Mapping: JA
