Das spektroskopische Ellipsometer der Serie M-2000 von J.A. Woollam ist ein modulares Gerät, das die bahnbrechende Rotating-Compensator-Technologie (RCE) für hohe Genauigkeit und CCD-Detektion für unübertroffene Messgeschwindigkeit nutzt. Diese Serie wird häufig zur Charakterisierung von Dünnschichten, deren optischen Eigenschaften und ihrer Dicke eingesetzt.
Die bahnbrechende RCE (Rotating Compensator Ellipsometry) für hochpräzise Messungen in Kombination mit einem schnellen CCD-Detektor ermöglicht die Untersuchung einer breiten Palette von Materialien, wie z. B. dielektrische, organische, halbleitende Materialien und Metalle. Der breite Spektralbereich (bis zu 193–1690 nm) mit variablem Messwinkel ermöglicht auch die Analyse mehrschichtiger Strukturen. Die Modularität des Systems ermöglicht unter anderem den Einsatz des Ellipsometers im In-situ-Modus sowie im Ex-situ-Modus. Sehr schnelle Datenerfassung – vollständige Datensätze über das gesamte Spektrum innerhalb von Sekunden.
Hauptmerkmale
- Bahnbrechende RCE-Technologie – Geschwindigkeit und Genauigkeit
- Modulares Design
- Ex-situ- und In-situ-Konfigurationen
- Flexible Systemintegration
- Breiter Spektralbereich
- Schnelle Messung des gesamten Spektrums auf einmal dank CCD-Detektor
- Hochpräzise Messungen an einer breiten Palette von Materialien
- Umfassende Software mit der breitesten Palette an Analysemodellen auf dem Markt
- Einfache Ausrichtung dank integriertem Quadrantendetektor
Die Ellipsometer der M2000-Serie sind mit einem vollautomatischen Datenerfassungssystem und einem motorisierten Arbeitstisch ausgestattet, der eine 2D-Kartierung der Probe sowie die Bewertung nicht nur der Schichtqualität, sondern auch ihrer Gleichmäßigkeit ermöglicht.
