Das Laser-Fizeau-Interferometer ZYGO Verifire zur Messung der Formgenauigkeit von optischen Elementen oder reflektierenden Oberflächen fester Materialien mit einem Kreisdurchmesser von bis zu 100 oder 150 mm. Das Interferometer ist mit der von QPSI entwickelten Mess- und statistischen Datenverarbeitungstechnik ausgestattet, die eine höhere Widerstandsfähigkeit gegen übliche mechanische Schwingungen in industriellen Betriebsumgebungen bietet und damit über die Grenzen der herkömmlichen Phasenverschiebungsinterferometrie hinausgeht.
QPSI
Die Technik der Phasenverschiebungsinterferometrie PSI (Phase Shifting Interferometry), bei der die Phasenverschiebung durch eine gesteuerte mechanische Verschiebung des Interferometer-Spiegels erfolgt, erhöht die Messgenauigkeit des Interferometers. Eine originelle Weiterentwicklung dieser Technik, bekannt als QPSI (Quick Phase-Shifting Interferometry) bezeichnet, hebt die Widerstandsfähigkeit gegenüber üblichen Vibrationen im industriellen Betriebsumfeld über die Grenzen der herkömmlichen Phasenverschiebungsinterferometrie hinaus.
Wichtige Eigenschaften
- Als Lichtquelle für die Messung dient ein stabilisierter He-Ne-Laser (633 nm) mit einer Kohärenzlänge der Strahlung von bis zu 100 m
- Die Interferenzmuster werden von einer integrierten Kamera mit einer Auflösung von bis zu 11 MPx erfasst.
- Bildfrequenz bis zu 210 Hz (je nach Kamera)
- Umfassende MetroPro MX-Software zur statistischen Datenauswertung und -visualisierung
- Das Gerät eignet sich für Messungen sowohl in horizontaler als auch in vertikaler Ausrichtung
- Möglichkeit der Fernsteuerung des Interferometers zur Steigerung des Messkomforts
- Unempfindlichkeit der Messung gegenüber mechanischen Schwingungen
Verifire HD / HDX
Interferometer Zygo Verifire™ HD und HDX sind Varianten des Verifire™-Interferometers, die mit einer verbesserten Kamera zur Erfassung des Interferenzmusters ausgestattet sind. Die hohe Auflösung von 11 MPx ermöglicht es, feinere Formabweichungen optischer Elemente im Bereich der sogenannten mittleren räumlichen Frequenz zu erkennen.
