Optisches 3D-Profilometer Newview 9000 auf WLI-CSI-Basis vom führenden amerikanischen Hersteller Zygo Inc. (Ametek).
3D-Mikroskop auf Basis von WLI-CSI mit der Möglichkeit der Messung mittels Phasenverschiebungsinterferometrie (phase shifting interferometry), um eine
Wiederholgenauigkeit im Sub-Angström-Bereich für jedes beliebige Sichtfeld zu erreichen. Die Auflösung in der Z-Achse ist unabhängig vom Vergrößerungsfaktor des Objektivs.
Das System dient zur Messung praktisch beliebiger Oberflächen; die Bedienung des Geräts ist intuitiv und ermöglicht eine vollständige Messung
durch Drücken einer einzigen Taste.
Die Auswertung kann anhand von 3D-Daten oder beliebigen 2D-Schnitten (kreisförmige oder lineare Schnitte) erfolgen. Selbstverständlich besteht die
Möglichkeit, die gemessene Oberfläche in ein 3D-Modell zu exportieren.
Das gelieferte System enthält eine integrierte Schwingungsdämpfungsplatte und erreicht dank optimierter Messmodi eine extrem
hohe Wiederholgenauigkeit und Messgenauigkeit unter den anspruchsvollsten Bedingungen, und zwar direkt in der Produktionshalle an der Bearbeitungsmaschine
erzielt.
Geräteparameter
- Probenpositionierung: motorisierter 5-Achsen-Tisch XYZRP
- Satz interferometrischer Objektive
- Zusätzlicher optischer Zoom-Satz
- Möglichkeit der Bildfeldzusammenführung: JA
- Wiederholgenauigkeit der Oberflächentopografie: < 0,08 nm
- Hochwertige Mx™-Software, speziell für die Anforderungen der Oberflächenmessung und -analyse entwickelt
