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Optisches Profilmessgerät NewView 9000

Optische Profilometer des führenden Herstellers Zygo der Serie NewView 9000 sind leistungsstarke Interferometriesysteme der neuen Generation mit der patentierten Technologie Zygo Coherence Scanning Interferometry (Zygo CSI). Zygo CSI kombiniert die Vorteile des herkömmlichen CSI-Modus (auch bekannt als „White Light Vertical Scanning Interferometry“) mit der Phasenverschiebungsmessung (PSI – Phase Shifting Interferometry), und ermöglicht so extrem genaue und schnelle Messungen einer breiten Palette von Oberflächen – von superglatten bis zu sehr rauen, von polierten Spiegeloberflächen über transparente Materialien (Glas und Kunststoffe) bis hin zu mattschwarzen Eishockey-Pucks.

Dank der Kombination dieser Methoden ist es möglich, Messungen an transparenten sowie undurchsichtigen Materialien wie Metallen, Glas, Polymeren, Keramik, aber auch organischen Materialien durchzuführen. So lassen sich beispielsweise transparente Mehrschichtstrukturen, raue sowie hochglanzpolierte, reflektierende Metallschichten und vieles mehr messen, ohne dass ein Messmodus ausgewählt werden muss.

Wichtige Merkmale

  • Smart-Setup-Funktion für Einrichtung und Messung per Knopfdruck
  • Berührungslose Oberflächenmesstechnik ohne Vorbehandlung des Messobjekts
  • Modulares Design
  • Hohe Messgeschwindigkeit (bis zu 171 µm/s)
  • Genauigkeit im Sub-Nanometer-Bereich
  • Große Auswahl an Objektiven
  • Crash-Protection-Funktion zum Schutz des Objektivs vor Stößen
  • Interaktive 3D-Oberflächenkarten
  • Flexible messtechnische Analyse
  • Umfassende Software zur Visualisierung und Analyse von Daten Zygo Mx
Richard Schuster
Fachberater

Ing. Richard Schuster

+420 601 123 593

schuster@optixs.cz

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Womit können wir Ihnen noch helfen

Parameter

Die Serie NewView 9000™ zeichnet sich durch höchste Messgeschwindigkeit, Sub-Angström- Wiederholgenauigkeit, Modularität, einen großen messbaren Winkelbereich (0°–89°) sowie einen dreifachen Revolverkopf für einen zusätzlichen optischen Zoom aus.

Es handelt sich um modulare Systeme, wobei die laterale Auflösung vom gewählten Objektiv abhängt (siehe Zygo-Objektive).

Modell NewView 9000
Konfiguration Workstation
Wiederholgenauigkeit bis zu 0,08 nm
Maximale vertikale Abtastgeschwindigkeit bis zu 171 μm/s
Höhenbereich des gescannten Profils von 0,1 nm bis 20 mm
Zusätzlicher optischer Zoom 3 Objektive
Sichtfeld Von 0,04 bis 17,5 mm

Zubehör

Mx-Software

Mx-Steuerungs- und Analysesoftware

Umfassende Zygo Mx-Software zur Steuerung des Profilmessgeräts, zur Datenerfassung und deren anschließender Analyse. Die programmierbare Umgebung ermöglicht die bedarfsgerechte Optimierung der Software und ihrer Benutzeroberfläche. Die wichtigsten Vorteile der Software sind:

  • Smart Setup zur automatischen Erkennung der Oberfläche und automatischen Einstellung der Messbedingungen
  • Integrierte SPC-Statistik
  • Interaktive 3D-Karten mit der Möglichkeit zum Vergrößern, Ändern der Ausrichtung und weiteren Anpassungen
  • Flexible Analyse mit umfangreichen Möglichkeiten zur Quantifizierung der Ergebnisse und zur Anwendung von Filterfunktionen

Im Rahmen der Ausgabemöglichkeiten kann mit der Einstellung zulässiger Abweichungen gemäß den Fertigungsstandards gearbeitet werden, was Routinemessungen vereinfacht und beschleunigt.

Objektive

Die Messmöglichkeiten optischer Profilometer hängen von den verwendeten Objektiven ab. Die Objektive bestimmen die Vergrößerung, den Arbeitsabstand, den Neigungswinkel und das Sichtfeld des Profilometers (nicht jedoch die Auflösung in Z-Richtung, die konstant ist). Die Auswahl des richtigen Objektivs ist für das Erreichen der Messziele von großer Bedeutung.

Zygo bietet eine große Auswahl an leistungsstarken Standardobjektiven in kompaktem Design mit Vergrößerungen von 1,4x bis hin zu speziellen ZWF-Objektiven und Objektiven mit bis zu 100-facher Vergrößerung und einer numerischen Apertur von bis zu 0,85. Die optische Gesamtvergrößerung lässt sich zudem mit zusätzlichen Zoomobjektiven kombinieren.

Vollständige Übersicht über die Objektive für die optischen Profilometer von Zygo.

Dokumente

Newview 9000 – Broschüre

Newview 9000 – Datenblatt

Referenzprojekte

Anwendung

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