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Anwendungsbereiche:

COMPex

Die Serie der kompakten COMPex-Excimer-Laser von Coherent ist für Anwendungen konzipiert, die eine hohe Pulsenergie erfordern. Der COMPex-Laser kann bei einer Wellenlänge von 248 nm eine Pulsenergie von bis zu 700 mJ erzeugen. Alle COMPex-Modelle zeichnen sich durch eine extrem hohe Stabilität der Pulsenergie und eine hohe räumliche Strahlstabilität aus.

Diese Laser finden breite Anwendung in den Bereichen Spektroskopie und Ionisation, Augenchirurgie, Pulslaserabscheidung (PLD), Laserablation und Analyse fester Proben.

Wichtige Eigenschaften

  • Ausführungen mit Ausgangswellenlängen von 193 / 248 oder 308 nm
  • Impulsenergie bis zu 750 mJ bei 100 Hz und 248 nm
  • Hohe Stabilität von Impuls zu Impuls < 0,75 %
  • Effiziente, gleichmäßige Vorionisierung
  • Fortschrittliches Gasreinigungssystem
  • Luftkühlung
  • Kompakte Abmessungen
Martin Klečka
Fachberater

Ing. Martin Klečka

+420 607 014 278

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Parameter

50 FBG 50 102 110 201 205
Energie pro Impuls (mJ)
193 nm - 100 240 240 400 400
248 nm 140 150 400 400 750 750
308 nm 140 - 250 250 500 500
351 nm - - 200 200 300 300
Wiederholfrequenz (Hz) 100 50 20 100 10 50
Energiestabilität im Impuls (Sigma %) < 0,75 < 0,75 < 0,75 < 0,75 < 0,75 < 0,75
Impulsdauer (FWHM ns) 20 20 20 20 25 25
Strahlabmessungen (FWHM, mm, B x H) 12 x 4,5 14 x 5 24 x 10 24 x 10 24 x 10 24 x 10
Strahldivergenz (FWHM, mm, V x H) ≤0,3 x 0,2 ≤2 x 1 ≤3 x 1 ≤3 × 1 ≤3 × 1 ≤3 × 1
Räumliche Strahlstabilität (Pointing, Sigma, μrad) ≤50 ≤50 ≤50 ≤50 ≤50 ≤50
Räumliche Kohärenz (FWHM, μm) 800 800 800 800 800 800
Kühlung Wasser
Stromversorgung 230 VAC, 16 A

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