Das spektroskopische Ellipsometer iSE von J.A. Woollam ist speziell für die Echtzeit-In-situ-Charakterisierung von Schichten konzipiert. Es wird beispielsweise zur Charakterisierung der Wachstumskinetik dünner Schichten in Vakuumkammern eingesetzt. Es ermöglicht unter anderem die Bestimmung der optischen Eigenschaften von Materialien wie des komplexen Brechungsindexes sowie die Ermittlung der Schichtdicke.
iSE mit der Dual-Rotation-Technologie misst die optischen Eigenschaften dünner Schichten während ihres Wachstums mit einer Sub-Angström-Empfindlichkeit in Bruchteilen einer Sekunde. Eine schnelle und präzise Erfassung gewährleistet der CCD-Detektor, der die gleichzeitige Messung des gesamten Spektrums (im Bereich von 400–1000 nm) ermöglicht. Das Ellipsometer iSE eignet sich für die Messung einer breiten Palette von Materialien, darunter Metalle, Halbleiter, Oxide, Nitride und andere.
Wichtigste Merkmale
- In-situ-Konfiguration mit einfacher Integration in die Kammer
- Kompaktes Design
- Günstiger Preis
- Schnelle, präzise und zerstörungsfreie Messung des gesamten Spektrums gleichzeitig
- Echtzeit-Überwachung der Schichtwachstumskinetik
- Geeignet für eine breite Palette von Materialien
