Das spektroskopische Ellipsometer RC2 von J.A. Woollam mit der neuen Dual-RCE-Technologie (Rotating Compensator Ellipsometry) ermöglicht schnelle und hochpräzise Messungen einer breiten Palette von Materialien, wie z. B. organische Materialien, Dielektrika, Halbleiter und Metalle. Es handelt sich um ein Mikrofokus-Ellipsometer in PCSCA-Konfiguration (Polarizer-Compensator-Sample-Compensator-Analyzer). Dank der Dual-RCE-Technologie misst das RC2 kontinuierlich (ohne Einzelpunkte) und mit hoher Empfindlichkeit über den gesamten Bereich der ellipsometrischen Werte.
Es wird zur Charakterisierung dünner Schichten mit Mikrostrukturen oder flächigen Inhomogenitäten sowie zur Bestimmung der Schichtdicke, der optischen Eigenschaften, des komplexen Brechungsindex, des Absorptionskoeffizienten und weiterer Parameter eingesetzt.
Das System ist in zwei Varianten des Spektralbereichs erhältlich: 193–1000 nm und 193–1500 nm. Das gesamte Spektrum wird gleichzeitig erfasst, und zwar im Zehntel- bis Ein-Sekunden-Bereich (abhängig von der Datenmittelung). Bei beiden Varianten beträgt der Einfallswinkel konstant 65°.
Hauptmerkmale
- Das präziseste CCD-basierte Ellipsometer
- Messung der vollständigen Mueller-Matrix
- Dual-RCE Technologie mit zwei rotierenden Kompensatoren
- Spektralbereich bis zu 193–1500 nm bei gleichzeitiger Erfassung des gesamten Spektrums
- Größe des Messflecks 25 µm x 40 µm
Die Ellipsometer der RC2-Serie sind mit einem vollautomatischen Datenerfassungssystem ausgestattet. Die motorisierte Positionierung ermöglicht eine automatische Abtastung der Probe mit Mikrofokussierung auf eine Messfleckgröße von 25 µm × 40 µm (oder wahlweise 25 µm × 60 µm).
