Microwriter ML3 Pro des britischen Herstellers Durham Magneto Optics Ltd. (DMO) auf einem vibrationsfreien CleanBench-Tisch des
amerikanischen Unternehmens TMC.
Es handelt sich um ein System mit wählbarer Auflösung (von 600 nm bis 5 µm), einem hochpräzisen Positioniersystem mit
interferometrischer Messung, volloptischem Autofokus und Temperaturstabilisierung.
Die Belichtungsquelle mit einer Wellenlänge von 385 nm, hoher optischer Leistung und langer Lebensdauer ermöglicht das Belichten von gängigen G-Line- und
H-Line-Fotolacken, aber auch des beliebten I-Line-Fotolacks SU-8.
Die Temperaturstabilisierung gewährleistet maximale Stabilität auch bei längeren Belichtungsvorgängen.
Die Funktion des integrierten Profilometers ermöglicht unter anderem die Überprüfung der Belichtung nach der Strukturentwicklung.
Die Funktion „Virtual Mask Aligner“ (VMA) zur präzisen Ausrichtung der Belichtung auf bestehende Strukturen dient der präzisen und einfachen
Mikroverdrahtung. Möglichkeit der Belichtung in Graustufen.
Geräteparameter
- Wellenlänge der Lichtquelle: 385 nm
- Temperaturstabilisierung: ± 0,25 °C
- Auflösungsstufen: 600 nm, 1000 nm, 2000 nm und 5000 nm
- Anzahl der Objektive: 4 (3- bis 20-fache Vergrößerung + Digitalzoom)
- Weitere Funktionen: VMA, Weitfeldbetrachter, integriertes Profilometer, Autofokus, Fokusverriegelung, virtuelle Rotation,
automatische Probenzentrierung, automatische Kantenerkennung
