Der leistungsstärkste Excimer-Laser in Mitteleuropa

Excimer-Laser-Anlage zur Modifizierung von Polymeren und Halbleitern, zur Laserablation, zur Erzeugung periodischer Strukturen auf Oberflächen zur Verbesserung der Biokompatibilität oder zur Erzeugung von Strukturen auf Halbleiteroberflächen usw.

Der Auftraggeber forderte zudem die Möglichkeit, die Ausgangsenergie des Impulses im Bereich von 1–100 % zu dämpfen, d. h. die Möglichkeit, entweder 1 J oder auch 10 mJ auf die Probe aufzubringen, was bei einem so leistungsstarken Excimer-Lasermodell keine übliche Funktion ist.

Der vorwiegend für industrielle Anwendungen konzipierte, leistungsstarke Excimer-Laser Coherent LEAP mit doppeltem Dämpfungsglied zur Regelung der Ausgangsleistung und der Energie pro Puls. Der Ausgangsstrahl wird über ein abgedecktes Periskop vom Laser über Spiegel mit hochreflektierender Beschichtung auf den optischen Arbeitstisch zur Probe geleitet.

Die größte Herausforderung im Rahmen des Projekts war letztendlich der Transport des Lasers, der allein fast 900 kg wiegt und eine Grundfläche von 2 x 1 Meter hat; zudem musste er in das Obergeschoss gebracht werden.

Geräteparameter

• Wellenlänge 248 nm
• Impulsenergie ≥1000 mJ bei 100 Hz
• Max. erreichbare Wiederholfrequenz 100 Hz
• Durchschnittliche Leistung 100 W
• Energiestabilität < 1 %
• Pulsdauer 36 ns
• Strahlgröße 32 ±3,5 × 13 ±4 mm
• Strahldivergenz ≤ 4,5 × ≤ 1,5 mrad
• Wassergekühlt
• Kommunikationsschnittstellen: USB und Ethernet
• Integriertes Diagnosesystem