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Anwendungsbereiche:

LEAP

LEAP ist ein Excimer-Laser der Firma Coherent, der hohe Leistung, hervorragende Zuverlässigkeit und niedrige Betriebskosten vereint. Damit ist er die ideale Laserquelle für unterschiedlichste Anwendungen sowohl in der Forschung als auch vor allem in der Industrie, insbesondere in der Halbleiterfertigung, von der Herstellung von Displays bis hin zur Erzeugung von Mikrostrukturen. LEAP-Laser sind bei Wellenlängen von 193, 248 und 308 nm mit einer Ausgangsleistung von bis zu 300 W (und einer Pulsenergie von bis zu 1 J) erhältlich. All dies in einem kompakten Design, das sich leicht in Funktionsmodule und Produktionsanlagen integrieren lässt.

Im Jahr 2020 stellte der Hersteller eine Erweiterung der LEAP-Laserproduktreihe vor, die nun eine industrielle Lösung mit einer Wellenlänge von 193 nm bietet. Die Wellenlänge von 193 nm bietet mehrere Vorteile für die Mikrobearbeitung und für Anwendungen, bei denen eine Eindringtiefe im Nanometerbereich erreicht werden muss.

Wichtigste Merkmale

  • Hochleistungslaser für den schnellen Betrieb auf großen Flächen
  • Wellenlängen von 193, 248 und 308 nm für die hochwertige Bearbeitung einer breiten Palette von Materialien
  • Pulse-on-Demand-Technologie für den wirtschaftlichen Einsatz bei Laser-Lift-Off-Anwendungen
  • Ethernet-Schnittstelle für schnelle Steuerung und Erfassung von Betriebsparametern
  • Kompaktes Industriedesign für einfache Integration
Martin Klečka
Fachberater

Ing. Martin Klečka

+420 607 014 278

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Parameter

ModellWellenlänge (nm)Maximale Pulsfrequenz (Hz)Maximale Pulsenergie (mJ)Maximale Leistung (W)
LEAP 50A 193 200 250 50
LEAP 60A 193 150 400 60
LEAP 80K 248 125 650 80
LEAP 80C 308 125 650 80
LEAP 100K 248 100 1000 100
LEAP 100C 308 100 1000 100
LEAP 130K 248 200 650 130
LEAP 130C 308 200 650 130
LEAP 150K 248 150 1000 150
LEAP 150C 308 150 1000 150
LEAP 300K 248 300 1000 300
LEAP 300С 308 300 1000 300

Dokumente

Referenzprojekte

Anwendung

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