Optische Profilometer eines führenden Herstellers Zygo der Serie NewView 8000 sind leistungsstarke Interferometriesysteme der neuen Generation mit der Technologie Coherence Scanning Interferometry (CSI), die den Modus des vertikalen interferometrischen Scannens (VSI – Vertical Scanning Interferometry) und den Modus der Messung der Phasenverschiebung von Interferenzmustern (PSI – Phase Shifting Interferometry) kombiniert.
Dank der Kombination dieser Methoden ist es möglich, Messungen an transparenten sowie undurchsichtigen Materialien wie Metallen, Glas, Polymeren, Keramik, aber auch organischen Materialien durchzuführen. So lassen sich beispielsweise transparente Mehrschichtstrukturen, raue sowie hochglanzpolierte reflektierende Metallschichten und vieles mehr messen, ohne dass ein Messmodus ausgewählt werden muss.
Hauptmerkmale
- Berührungslose Oberflächenmesstechnik ohne Vorbehandlung des Messobjekts
- Modulares Design
- Hohe Messgeschwindigkeit (bis zu 96 µm/s)
- Genauigkeit im Sub-Nanometer-Bereich
- Große Auswahl an Objektiven
- Crash-Protection-Funktion zum Schutz des Objektivs vor Stößen
- Interaktive 3D-Oberflächenkarten
- Flexible messtechnische Analyse
- Umfassende Software zur Visualisierung und Analyse von Daten Zygo Mx
