Die Messmöglichkeiten optischer Profilometer hängen von den verwendeten Objektiven ab. Zygo bietet eine große Auswahl an hochwertigen Standard-Interferometriobjektiven.
Objektive beeinflussen folgende Parameter:
- Numerische Apertur und Vergrößerung
- Arbeitsabstand
- Messbarer Winkelbereich
- Größe des Sichtfelds
Bei Zygo sind Standard-Interferometerobjektive in kompakter Bauweise, Weitwinkelobjektive sowie Objektive mit langer und extrem langer Arbeitsdistanz (SLWD) erhältlich.
Zygo bringt als erster Hersteller Objektive vom Typ (Zygo Wide-Field) ZWF für große Sichtfelder (> 30 mm) bei minimaler Bildverzerrung im Vergleich zu Objektiven in Standardausführung, die nach dem Prinzip des Michelson-Interferometers arbeiten. Dieser Objektivtyp ist für große Sichtfelder optimiert und unterliegt dem Patentschutz.
Der Vergrößerungsbereich lässt sich durch die Kombination mit einem zusätzlichen optischen Zoom (0,5x bis 2,0x) auf einen Gesamtbereich der optischen Vergrößerung von 0,25x bis 200x erweitern.
