Der amerikanische HerstellerZygo, weltweit führend im Bereich der Interferenzprofilometer und Laserinterferometer, bringt eine neue Generationmodularer optischer Profilometerder Serie NewView 9000sowie das neue, verbesserteFlaggschiff- s Nexview NX2 auf den Markt.
Im Vergleich zur Vorgängergeneration wurden nicht nur die Hardware, sondern auch die proprietäre Software Zygo Mx™ für die Messsteuerung und die erweiterte Datenanalyse deutlich verbessert.
Eine wesentliche Hardware-Neuerung ist der Einbau eines neuen Sensors, der Folgendes bietet:
- o eine um 30 % höhere Empfindlichkeit und eine um 25 % bessere vertikale Auflösung
- o 95 % mehr Pixel, wodurch bei gleicher Auflösung ein größeres Sichtfeld erfasst werden kann
- o eine um 100 % höhere Scan-Geschwindigkeit
Die Anwender können sich zudem auf zahlreiche Software-Verbesserungen freuen, allen voran die einzigartige Neuerung „Smart Setup“. Diese Funktion minimiert den Aufwand für den Bediener und verkürzt die Messzeit erheblich: Die neue Generation schafft es bei den allermeisten Oberflächen,vom Einlegen der Probe bis hin zu den vollständigen Messdaten, in weniger als einer Minute.
Zu den wichtigsten Software-Neuheiten gehören :
- Smart Setup – vollständige Einrichtung und Vermessung der Probe innerhalb von 1 Minute
- Part Finder – vollständige Einstellung der Messparameter und Ausrichtung der Probenoberfläche
- Fast Focus – verbesserter Autofokus mit zehnmal höherer Geschwindigkeit im Vergleich zur Vorgängergeneration und zur Konkurrenz
- Verbesserter Kontrast bei Intensitätskarten (für die 2D-Vision-basierte Analyse)
- Verbessertes Menü für noch mehr Übersichtlichkeit
Diese Verbesserungen führen zu einer deutlichen Steigerung der Messgeschwindigkeit bei höherer Genauigkeit und höherer Produktivität. Neue Softwarefunktionen wie Fast Focus, Part Finder und Smart Setup führen zu einer deutlichen Entlastung des Bedieners und einer Beschleunigung der Messung. Die neuen Funktionen ermöglichen zudem einen noch höheren Automatisierungsgrad.
Die Kontrastverbesserung bei intensiven Bildmustern liefert bessere Grundlagen für die 2D-Analyse von Bilddaten.
Profilmessgeräte der neuen Generation können auch zur Messung transparenter Schichten eingesetzt werden, einschließlich der Möglichkeit, gleichzeitig das Profil einer transparenten Beschichtung, deren Dicke sowie das Profil des Substrats zu messen. Die Version Nexview NX2 bietet darüber hinaus die Möglichkeit, im True-Color-Modus zu messen, um das mikroskopische Oberflächenprofil in realistischen Farben darzustellen.
Selbstverständlich bleiben alle Funktionen erhalten, an die die Anwender gewöhnt sind, wie beispielsweise die Messung und Auswertung gemäß ISO-Normen sowie nach benutzerdefinierten Vorgaben mit Skriptierungsmöglichkeiten.