Die NexView NX2 -Profilometer sind die leistungsstärksten interferometrischen Systeme der neuen Generation und zeichnen sich durch eine einzigartige Kombination von Messtechnologien aus, die einen großen Messbereich und hohe Messgeschwindigkeit bei gleichzeitig hervorragender Wiederholgenauigkeit der Messungen ermöglichen. Hier werden die Modi CSI (Coherence Scanning Interferometry) und PSI (Phase Shifting Interferometry) auf einzigartige Weise kombiniert, sodass der Anwender gleichzeitig von den Vorteilen beider Ansätze profitiert und sich nicht zwischen den beiden Methoden der Oberflächenmessung entscheiden muss.
Darüber hinaus ermöglicht dieses optische Profilometer in Kombination mit einer ausgeklügelten Software-Analyse die Messung praktisch jeder Oberfläche, einschließlich transparenter Mehrschichtstrukturen, rauer sowie hochglanzpolierter reflektierender Metallschichten, stark streuender Oberflächen und vieler weiterer. All dies, ohne dass ein Messmodus ausgewählt werden muss. Dank einer einzigartigen, patentierten Technologie können das Profil und die Dicke dünner transparenter Schichten gleichzeitig mit der Profilmessung des Substrats gemessen werden.
NexView NX2 Das Profilometer kann vollständig automatisiert werden, und zwar mithilfe einer vorprogrammierten Befehlssequenz, was für wiederholte Messungen von Bauteilen bei der Qualitätskontrolle oder für die Messung mehrerer Stellen einer Probe während einer einzigen Messung genutzt werden kann. Mit einem einzigen Tastendruck lässt sich so sehr schnell und mit unübertroffener Genauigkeit das Oberflächenprofil des Messobjekts ermitteln.
Das Profilmessgerät erfüllt die Anforderungen der Norm ISO 25178 für Oberflächenmessungen und ist zudem vibrationsunempfindlich, sodass es praktisch in jeder Umgebung eingesetzt werden kann. Die Messung erfolgt mit einer Genauigkeit im Sub-Nanometer-Bereich, unabhängig vom Sichtfeld. Dieses berührungslose Rauheitsmessgerät ermöglicht unter anderem die Bestimmung der Rauheit gemäß ISO-Normen, der Ebenheit, der Stufigkeit und der Steilheit von Neigungen für Höhenbereiche von Zehnteln eines Nanometers bis zu 20 mm.
Die mitgelieferte Software Mx™ ermöglicht die Steuerung des Profilometers und die anschließende erweiterte Analyse der Messdaten. Die gewonnenen Ergebnisse lassen sich dann mithilfe interaktiver 3D-Karten visualisieren und auf eventuelle Abweichungen von den Sollwerten auswerten.
