VASE® ist eine Serie präziser, vielseitiger und zuverlässiger spektroskopischer Ellipsometer des amerikanischen Herstellers J. A. Woollam für die Untersuchung aller Arten von Materialien. Dank der Kombination aus RAE und der patentierten AutoRetarder-Technologie ist sie für Messungen im Bereich des Brewster-Winkels optimiert. Sie eignet sich für Halbleiter, Dielektrika, Polymere, Metalle sowie Mehrschichtstrukturen.
Neben der hohen Messgenauigkeit zeichnet es sich durch eine große Variabilität und einen breiten Spektralbereich aus – von 193 bis 4000 nm.
Die einstellbare Wellenlänge und der einstellbare Einfallswinkel ermöglichen flexible Messungen unter anderem in folgenden Bereichen:
- Reflexions- und Transmissionsellipsometrie
- Allgemeine Ellipsometrie (Anisotropie, Retardation, Doppelbrechung)
- Intensitätsmessung: Reflexionsgrad (R) und Transmissionsgrad (T)
- Kreuzpolarisation (R/T)
- Depolarisation
- Optische Skaterometrie
- Müller-Matrix
