Antriebsarten
- Schrittmotoren (Baureihe L)
- Gleichstrom-Servomotoren (Baureihe L)
- Linearmagnetmotoren (Baureihe V)
Arten der Positionsmessung
- Ohne Positionsmessung
- Drehgeber am Servomotor (indirekte Positionsmessung)
- Direkter Inkrementalgeber
Typische Parameter
- Positionierbereich in zwei Achsen von 102 × 102 mm bis 305 × 305 mm
- Wiederholgenauigkeit in beide Richtungen bis zu ± 0,25 µm
- Tragkraft bis zu 20 kg
- Varianten mit innerer Öffnung
- Varianten für Vakuumanwendungen

