Stacis 4 Aktivní antivibrační platforma

STACIS® 4 je nejpokročilejší systém aktivní izolace vibrací, který je na trhu k dispozici. Systém STACIS využívá inerciální snímače vibrací, sofistikované řídicí algoritmy a nejmodernější piezoelektrické aktuátory, které v reálném čase potlačují vibrace nepřetržitým měřením aktivity podlahy a následným roztahováním a smršťováním piezoelektrických aktuátorů, aby odfiltrovaly pohyb podlahy. Zcela nový STACIS 4 staví na úspěchu naší osvědčené technologie STACIS, kterou používá 9 z 10 největších výrobců polovodičů na světě.

Klíčové vlastnosti

  • Systém STACIS je stokrát tužší než vzduchové izolátory a netrpí žádným z omezení vzduchových vibroizolačních systémů.
  • Šířka aktivního pásma od 0,2 Hz do 150 Hz a bezkonkurenční aktivní izolace s až 99,9% redukcí vibrací při 2 Hz.
  • Robustní sériová konstrukce umožňuje nastavit a zapomenout, na rozdíl od konkurenčních paralelních konstrukcí, které jsou ze své podstaty nestabilní a vyžadují časté ladění pro udržení špičkového výkonu.
  • STACIS 4 umožňuje dvoustupňové konstrukce regulace vibrací zahrnující pasivní nebo aktivní paralelní platformy nad systémem STACIS.
  • Výkon systému STACIS 4 je ekvivalentní snížení vibračního prostředí až o 5 křivek VC na stabilní podlaze.
Petr Březina
Odborný poradce

Ing. Petr Březina

+420 607 014 272

brezina@optixs.cz

Zaslat poptávku

OptiXs care

  • Odborně zkonzultujeme vaši plánovanou aplikaci
  • Náš tým je schopen produkt integrovat i do většího systému
  • Zajistíme rychlé dodání náhradních dílů a lokální servis
S čím dalším můžeme pomoci

Popis produktu

Systém STACIS byl původně navržen pro izolaci přesných mikrolitografických, metrologických a kontrolních zařízení v moderních továrnách na výrobu polovodičů a nyní je standardním řešením pro nejcitlivější přístroje v rušném prostředí, mimo jiné v aplikacích, jako je analýza poruch, nanotechnologický výzkum, nanovýroba, strukturní biologie a materiálový výzkum.

STACIS 4 obsahuje nový a vylepšený digitální ovladač DC-2020 s nižší hlučností a dvoujádrovým procesorem . Tento nový pokročilý řídicí systém poskytuje uživateli snadno použitelné grafické uživatelské rozhraní (GUI) dostupné přes webové rozhraní.

STACIS 4 staví na pokročilé architektuře předchozích generací a přidává pokročilé řídicí algoritmy a nové patentované technologie. Výsledkem je dříve nedosažitelné potlačení vibrací podlah budov na všech frekvencích, zejména však pod 10 Hz, kde je zobrazování a metrologie s vysokým rozlišením nejcitlivější. V kombinaci s patentovanou technologií FloorSense™ snižuje systém STACIS 4 vibrace podlahy budovy o 60 dB při frekvenci 2 Hz a o 27 dB při frekvenci 1 Hz. Úplné výkonnostní specifikace systému STACIS 4 jsou uvedeny níže.

Užitečné zatížení 4500 liber (2045 kg) testováno se simulovanými vibracemi při VC-C (500 μin./s, 12,5 μm/s RMS) ve vertikální a horizontální ose.

Parametry

Stupně volnosti (počet aktivních os) 6
Aktivní frekvenční pásmo izolace 0,2 Hz - 150 Hz
Účinnost izolace při 1 Hz 85% - 96%
Účinnost izolace při 2 Hz 96-99,9%
Doba ustálení (typická) 0,02 sec
Vnitřní šum systému  <0,05 nm RMS
Rozsah nosnosti na jeden izolátor

Nízké zatížení: 182-500 kg

Střední zatížení 410-955 kg

Vysoké zatížení 864-2045 kg

Tuhost (454 kg zatížení, izolátor pro střední zatížení) 73 x 105 N/m
Magnetické pole vyzařované ve vzdálenosti maximálně 102 mm od izolátoru <0,02 μG broadband RMS 

Poptat produkt

Máte zájem o produkt? Zašlete nám své požadavky skrze poptávkový formulář nebo využijte přímý kontakt na odborného poradce. Rádi zodpovíme vaše dotazy a navrhneme řešení dle vašich potřeb.

Odborný poradce

Petr Březina

Ing. Petr Březina