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iNano® Nanoindentor

Der iNano®-Nanoindentor erleichtert die Messung dünner Schichten, Beschichtungen und kleiner Materialmengen. Das präzise, flexible und benutzerfreundliche Gerät führt eine breite Palette mechanischer Prüfungen im Nanomaßstab durch – darunter Indentation, Härtemessung, Kratztests und universelle Prüfungen.

Hauptmerkmale

  • InForce 50-Aktuator (50 mN, 50 µm) mit kapazitiver Wegerfassung und elektromagnetischer Ansteuerung
  • Integriertes Spitzenkalibriersystem für schnelle und präzise Kalibrierung
  • InQuest-Elektronik mit einer Datenerfassungsrate von 100 kHz und einer Zeitkonstante von 20 µs
  • XY-Bewegungssystem mit magnetischer Probenhalterung
  • Integriertes Mikroskop mit digitalem Zoom für die präzise Ausrichtung der Indentation
  • ISO 14577 und standardisierte Prüfverfahren
  • InView-Software (RunTest, ReviewData, InFocus Reporting, InView University, InView Mobile)
Richard Schuster
Fachberater

Ing. Richard Schuster

+420 601 123 593

schuster@optixs.cz

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Produktbeschreibung

Der iNano®-Nanoindentor nutzt den InForce 50-Aktuator zur Durchführung von Nanoindentation und universellen nanomechanischen Prüfungen. Der Kraftbereich von 50 mN und der Verfahrweg von 50 µm ermöglichen die Abdeckung eines breiten Anwendungsspektrums.

Das System ist kompakt, verfügt über die Hochgeschwindigkeits-Steuereinheit InQuest und eine schwingungsisolierte Konstruktion. Dank der Software InView sind Prüfungen im Nanomaßstab einfach und flexibel durchzuführen. Das iNano lässt sich um optionale Module erweitern, wie z. B. Probenheizung, kontinuierliche Steifigkeitsmessung (CSM), NanoBlitz 3D/4D-Eigenschaftskartierung und Fernvideo.

Es kann eine breite Palette von Materialien geprüft werden – Metalle, Keramik, Verbundwerkstoffe, Dünnschichten, Beschichtungen, Polymere, Biomaterialien und Gele.

Anwendung

  • Messung von Härte und Elastizitätsmodul (Oliver-Pharr)
  • Charakterisierung dünner Schichten (Härte, Elastizitätsmodul, Delaminierung, Bruch, Rissausbreitung)
  • Hochgeschwindigkeitskartierung von Materialeigenschaften (NanoBlitz-Topographie, Tomographie)
  • Härteprüfungen gemäß ISO 14577
  • Messung von tan δ, Speichermodul und Verlustmodul von Polymeren
  • Nanoindentation bei hohen Temperaturen

Branche

  • Halbleiter- und Verpackungsindustrie
  • Universitäten, Forschungslabore und -institute
  • Polymere und Kunststoffe
  • MEMS – mikroelektromechanische Systeme
  • Keramik und Glas
  • Biomaterialien und pharmazeutische Materialien
  • Beschichtungen und Lacke
  • Polymerherstellung
  • Verbundwerkstoffe

Parameter

  • Kraftbereich: 50 mN
  • Verschiebungsbereich: 50 µm
  • Bewegungsbereich des Tisches: 100 mm (X-, Y-Achse), 25 mm (Z-Achse)
  • Datenerfassungsrate: 100 kHz
  • Zeitkonstante: 20 µs
  • Verschiebungsauflösung: NACHTRÄGLICH EINZUTRAGEN
  • Probenbereich: von ultrweichen Gelen bis hin zu harten Beschichtungen

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