KLA Instruments

Alpha-Step® D-500 Stylus-Profiler

Der Alpha-Step® D-500 ist ein Taster-Profilometer, das 2D-Höhenunterschiede von einigen Nanometern bis zu 1200 µm messen kann. Es unterstützt zudem 2D-Messungen der Rauheit, Krümmung und Spannung dünner Schichten. Das Gerät ist mit einem manuellen Tisch (140 mm) und einer fortschrittlichen Optik mit einer hochauflösenden Farbkamera ausgestattet.

Alpha-Step® D-600 Stylus-Profiler

Das Alpha-Step® D-600 ist ein Taster-Profilometer, das 2D- und 3D-Höhen von wenigen Nanometern bis zu 1200 µm messen kann. Es unterstützt zudem die Messung von Rauheit, Krümmung und Spannung dünner Schichten. Das Gerät ist mit einem motorisierten Tisch für Proben bis zu 200 mm sowie einer fortschrittlichen Optik mit einer hochauflösenden Farbkamera ausgestattet.

Tencor® P-17 & Tencor® P-17 OF

Das Tencor® P-17 ist ein Tisch-Stiftprofilometer der 8. Generation, mit dem Höhen von einigen Nanometern bis zu 1 mm gemessen werden können. Es ermöglicht 2D- und 3D-Messungen von Höhe, Rauheit, Krümmung und Spannung dünner Schichten mit einem Durchmesser von bis zu 200 mm ohne Stitching.

Tencor® P-7 Stylus Profiler

Der Tencor® P-7 ist ein Tisch-Stiftprofilometer mit einem Höhenmessbereich von einigen Nanometern bis zu 1 mm. Es unterstützt 2D- und 3D-Messungen von Höhe, Rauheit, Krümmung und Spannung, ohne dass bei Scans bis zu 150 mm eine Bildzusammenstellung erforderlich ist.

Filmetrics® F40

Filmetrics® F40 verwandelt Ihr Mikroskop in ein Messgerät für dünne Schichten. Es ermöglicht die Messung von Schichtdicke, optischen Konstanten und Reflexionsgrad innerhalb weniger Sekunden mit einer Messpunktgröße von bis zu 1 µm und eignet sich für strukturierte, gekrümmte und inhomogene Proben.

iMicro® Nanoindentor

Der iMicro® Nanoindentor ist ein präzises und flexibles Gerät zur Prüfung mechanischer Eigenschaften im Nanomaßstab. Er ermöglicht die Durchführung von Nanoindentation, Härtemessungen, Kratztests und universellen nanomechanischen Prüfungen. Dank austauschbarer Aktuatoren deckt er einen breiten dynamischen Kraft- und Verschiebungsbereich ab – von weichen Polymeren bis hin zu harten Metallen und Keramiken.

iNano® Nanoindentor

Der iNano®-Nanoindentor erleichtert die Messung dünner Schichten, Beschichtungen und kleiner Materialmengen. Das präzise, flexible und benutzerfreundliche Gerät führt eine breite Palette mechanischer Prüfungen im Nanomaßstab durch – darunter Indentation, Härtemessungen, Kratztests und universelle Prüfungen.

Nanoindentor® G200X

Der Nanoindentor® G200X ist ein benutzerfreundliches Prüfgerät für mechanische Eigenschaften im Nanomaßstab, das schnell präzise und quantitative Ergebnisse liefert. Er ermöglicht die Prüfung einer breiten Palette von Proben, von harten Beschichtungen bis hin zu weichen Polymeren, und bietet den umfassendsten Testumfang in der Nanoindentor-Produktreihe von KLA Instruments.

Filmetrics® F54-XY-200 und F54-XY-300

Die Filmetrics® F54-XY-Serie ermöglicht die automatisierte Kartierung der Schichtdicke, des Brechungsindex, des Reflexionsgrades, der Absorption und der Oberflächenrauheit an Proben mit einer Größe von bis zu 300 mm.

Filmetrics® F54

Das Filmetrics® F54 kombiniert die mikroskopische Größe des Messpunkts des F40-Geräts mit einer integrierten Kamera und der automatisierten Abtastung von Proben mit einem Durchmesser von bis zu 450 mm mithilfe eines R-Theta-Tisches und eines fortschrittlichen Spektralreflektanzsystems.

Filmetrics® F20

Das Filmetrics® F20 ist ein Gerät zur Analyse dünner Schichten, das die Dicke und die optischen Eigenschaften von Materialien im Bereich von 1 nm bis 3 mm misst. Das Gerät arbeitet nach dem Prinzip der Lichtinterferenz an dünnen Schichten und Mehrfachschichten.