Dank der technologischen Fortschritte der letzten Jahre ist es möglich, Oberflächen mit immer höherer Präzision zu bearbeiten. Mehr denn je werden daher hohe Anforderungen an die Qualität und Genauigkeit der Messung der Oberflächenstruktur selbst gestellt.
Im Zusammenhang mit der Messung der Oberflächenrauheit lassen sich drei wichtige Faktoren identifizieren: Oberflächenmessung, Datenanalyse und Berichterstellung der Ergebnisse.

Oberflächenmessung

Bei der Oberflächenmessung spielt die Genauigkeit eine entscheidende Rolle. Ohne hohe Genauigkeit lässt sich die Richtigkeit der gemessenen Rauheitswerte nicht gewährleisten. Die optischen 3D-Profilmessgeräte von Zygo machen die Erfassung präziser Daten zu einem schnellen und einfachen Vorgang. Mithilfe der SmartSetup™-Technologie können Sie zudem mit nur einem Knopfdruck eine vollständige Messung durchführen. Von der automatischen Oberflächenerkennung über die Anpassung der Parameter bis hin zur eigentlichen Oberflächenmessung – alles mit einem einzigen Klick.

Datenanalyse

Wie bei jeder Oberflächenrauheitsmessung müssen die Rohdaten zunächst von Informationen bereinigt werden, die beispielsweise Aufschlüsselung und Form der Oberfläche betreffen. Wenn Sie diesen Prozess vereinfachen möchten, istdie Mx™-Software von Zygo die richtige Wahl.

Ergebnisbericht

In der Vergangenheit war Ra (die arithmetische Mittelwertabweichung des Rauheitsprofils) die wichtigste Größe zur Bestimmung der Oberflächenrauheit. Obwohl es sich zweifellos um einen wichtigen Wert handelt, würde eine ausschließliche Konzentration darauf uns wichtige Ergebnisse vorenthalten. Neben der aussagekräftigeren Erweiterung des linearen Parameters Ra um dessen flächige Alternative Sa gibt es gleich mehrere weitere Werte, mit denen sich spezifische Eigenschaften der Oberflächentopografie besser und treffender beschreiben lassen:

Diese Parameter und viele weitere lassen sich automatisch mit unserer Software Mx™ von Zygo auswerten.

Parameter von Mx™ Surface Texture