Form und Oberflächenstruktur
Moderne Fertigungsverfahren erfordern den Einsatz von Hochgeschwindigkeits-Zerspanungswerkzeugen mit ausgeklügelten Formen, um das Material für die Herstellung verschiedener Bauteile schnell und effizient zu bearbeiten. Bei diesen Werkzeugen müssen die Schärfe der Schneidkanten, die Rauheit der Nuten sowie mögliche Risse und Brüche überprüft werden; außerdem müssen eventuelle Mikrostrukturen auf der Oberfläche für eine Vielzahl von Effekten sichtbar gemacht werden.
Herkömmliche Bildverarbeitungssysteme können zwar einige dieser Aufgaben bewältigen, jedoch niemals alle gleichzeitig mit ausreichender Zuverlässigkeit und in entsprechender Auflösung. Für zuverlässige und präzise Form- und Rauheitsmessungen mit hoher Wiederholgenauigkeit setzen weltweit führende Hersteller jedoch in großem Umfang optische Profilmessgeräte auf Basis der Weißlichtinterferometrie (White-Light-Interferometry) ein. Bereits die Basisreihe der Zygo-Profilometer – ZeGage™ –bietet einen beispiellosen Zugang zur Quantifizierung der Oberflächenparameter der Messobjekte mit einer vertikalen Auflösung im Sub-Nanometer-Bereich.
Dank der Flexibilität des ZeGage™-Profilmessgeräts und der mitgelieferten Mx™-Software kann der Anwender einfach ein Bearbeitungswerkzeug auf die Auflage legen, eine Taste drücken und die benötigten Daten vom untersuchten Oberflächenbereich abrufen.
Die hohe Wiederholgenauigkeit der Bauteilmessungen ist entscheidend für die Überwachung des Fertigungsprozesses. Dies ist entscheidend für die Reduzierung der Ausschussquote und für die Verlängerung der Lebensdauer von Bearbeitungswerkzeugen.
Die Mx™-Softwareentspricht vollständig den Normen ISO 4287/4288 (2D-Profil) sowieISO 25178 (3D-Struktur). Die Werkzeuge und Bedienelemente in der Mx™-Softwareumgebung sind übersichtlich und leicht verständlich.
Die von den Profilmessgeräten der Firma Zygo gebotene vertikale Auflösung im Sub-Nanometer-Bereich, die unabhängig vom verwendeten interferometrischenObjektiv ist, ermöglicht die präzise Messung von Neigung, Mikrorauheit und Form, ohne dass eine externe Schwingungsisolierung erforderlich ist.
