Široká nabídka produktů pro charakteristiku plazmového výboje od Impedans. Portfolio zahrnuje sondy pro měření klíčových fyzikálních parametrů objemového plazmatu, sondy pro měření procesu na povrchu substrátu a sondy pro detekci RF frekvence, měření pracovního cyklu v reálném čase, měření průměrného výkonu, napětí, proudu, impedance plasmového výboje i RF pulsní monitorování.