Spektroskopický elipsometr M-2000

VÝROBCE:

J.A. Woollam CO.

KATEGORIE:

Spektroskopický elipsometr řady M-2000 od J.A. Woollam je modulární přístroj využívající přelomové technologie rotujícího kompenzátoru (RCE) pro vysokou přesnost a CCD detekce pro bezkonkurenční rychlost měření. Tato řada je hojně využívaná pro charakterizaci tenkých vrstev, jejich optických vlastností a tloušťky.

Přelomová technologie RCE (Rotating Compensator Ellipsometry) pro vysoce přesná měření v kombinaci s rychlým CCD detektorem umožňuje měření široké škále materiálů jako např. dielektrických, organických, polovodivých materiálů a kovů. Široký spektrální rozsah (až 193-1690nm) s proměnným úhlem měření umožňuje analýzu i vícevrstevných struktur. Modularita systému umožňuje mimo jiné využití elipsometru v režimu in situ i ex situ. Velmi rychlé měření dat - kompletní série dat z celého spektra během jednotek sekund.

Klíčové vlastnosti

Přelomová RCE technologie - rychlost a přesnost
Modulární design
Ex-situ i in-situ konfigurace
Flexibilní systémová integrace
Široký spektrální rozsah
Rychlé měření celého spektra naráz díky CCD detektoru
Vysoce přesné měření na široké škále materiálů
Komplexní software s nejširší škálou analytických modelů na trhu
Jednoduchý alignment díky integrovanému kvadrantovému detektoru

Elipsometry řady M2000 jsou vybaveny plně automatizovaným systémem sběru dat a motorizovaným pracovním stolem, který umožňuje 2D mapování vzorku a vyhodnocovaní nejen kvality vrstvy ale i její jednotnosti.

Máte zájem o Spektroskopický elipsometr M-2000
Potřebujete radu?

Kontaktujte nás

Referenční projekt:

Spektroskopický elipsometr M-2000

Společná laboratoř optiky UP a FZÚ AV ČR

Parametry

Design	RCE (Rotating Compensator Ellipsometer)
Rozsah vlnových délek	volitelně až od 190 nm do 1700 nm
Počet vlnových délek dle jednotlivých rozsahů	od 390 do 700 dle zvoleného rozsahu
Úhly dopadu	45°-90° (Automated Angle Base) 20°-90° (Vertical Automated Angle Base) 65° (Fixed Angle Base; Test Base)
Detektor	CCD (UV-VIS) multikanálový InGaAs (NIR)
Rychlost sběru dat (celkové spektrum)	od 0.05 s (1 - 5 s je typické pro kompletní soubor dat s průměrováními)
Maximální tloušťka substrátu	18 mm

Rychlé a přesné měření, vzešlé z unikátní kombinace RCE technologie a CCD & multichannel detektoru, umožňuje i měření dynamických procesů (QCM-D). Modulární systém dává možnost měření flow cell, mikroskopických měření díky fokusačním nástavcům. Díky možnosti in situ lze také elipsometr M2000 využít pro online kontrolu růstu vrstev například v PVD a ALD komorách.

Široká škála analytických modelů zakomponovaných v dodávaném pokročilém analytickém softwaru umožňuje vysokou variabilitu při zpracování rychle a přesně naměřených dat Δ a ψ (delta a psí).