Spektroskopický elipsometr RC2
| VÝROBCE: |
|
J.A. Woollam CO. | KATEGORIE: |
Spektroskopický elipsometr RC2 od J.A. Woollam s novou technologií Dual RCE (Rotating Compensator Ellipsometry) umožňuje rychlé a vysoce přesné měření široké škály materiálů jako např. organických materiálů, dielektrik, polovodičů i kovů. Jedná se o modulární systém v konfiguraci PCSCA (Polarizer-Compensator-Sample-Compensator-Analyzer). Díky technologii Dual RCE měří RC2 spojitě (bez singulárních bodů) a s vysokou senzitivitou v celém rozsahu elipsometrických hodnot.
Používá se pro charakterizaci tenkých vrstev a zjištění optických vlastností materiálů jako například komplexní index lomu a koeficient absorpce.
Široký spektrální rozsah s proměnným úhlem měření umožňuje charakterizaci i vícevrstevných struktur.
Klíčové vlastnosti
- Nejpřesnější elipsometr na bázi CCD
- Měření kompletní Muellerovy matice
- Modulární design
- Flexibilní systémová integrace
- Dual RCE technologie se dvěma rotujícími kompenzátory
- Nejširší spektrální rozsah při simultánní detekci celého spektra
- Možnost měření v in situ i v ex situ konfiguraci
Elipsometry řady RC2 jsou vybaveny plně automatizovaným systémem sběru dat a motorizovaným pracovním stolem, který umožňuje mapování vzorku a charakterizaci vrstev (homogenita, drsnost, fázové přechody, ...).
Máte zájem o Spektroskopický elipsometr RC2
Potřebujete radu?
- RC2 je prvním spektroskopickým elipsometrem umožňujícím měřit všech 16 prvků Muellerovy matice v celém spektru, což umožňuje charakterizovat i ty nejnáročnější vzorky a nanostruktury. Například lze charakterizovat vrstvy, které jsou depolarizující a anizotropní současně.
Například tak můžeme měřit multivrstvy s tekutými krystaly, vrstvy uspořádaných plazmonických nanočástic a mnohé další. - Patentovaný design využívající achromatických rotujících kompenzátorů je optimálním řešením pro široké spektrální měřicí rozsahy i dlouhodobou stabilitu, spolehlivost a životnost zařízení.
- Modulární design umožňuje variabilitu konfigurace měření, ať už potřebujete zmapovat velkou plochu vzorku s fokusovaným svazkem pro vysoké prostorové rozlišení, nebo chcete měřit růst vrstev in situ, případně vás zajímá měření v průtokové cele, nebo jen obyčejné bodové měření, na vše může nabídnout řešení jediný přístroj: RC2.
Díky kombinaci dlouholetých zkušeností a inovativních řešení tak J.A.Woollam představuje přístroj s bezkonkurenčními možnostmi rychlé a přesné spektroskopické elipsometrie - a to jak standardní (SE), tak i zobecněné (g-SE) a kompletní Muellerovy matice (MM-SE).
Související články
Optická charakterizace nanostruktur
Webinář: Spektroskopická elipsometrieSouvisející produkty
Spektroskopický elipsometr M-2000
In situ elipsometr iSE
Mapovací elipsometr Theta-SE
Elipsometr alpha 2.0
VASE Elipsometr
Mapovací elipsometr RC2® XF s mikrofokusemMáte zájem o Spektroskopický elipsometr RC2? Potřebujete radu?
Pomůže Vám specialista sekce Richard Schuster, případně využijte naše další kontakty.