Pomocí bezkontaktních a nedestruktivních metod lze analyzovat obrysy a drsnost povrchů v reálném čase v pikometrickém rozlišení. Pro tyto účely jsou kombinovány kamerové systémy s vysokým rozlišením s interferometrií bílého světla. Rychlé a přesné umístění objektivu je důležitým požadavkem pro detailní analýzu povrchových vlastností vzorků. Poloha objektivu musí být přesně sladěna s individuálním obrazem a teprve poté je možné vysoce přesné 3D pozorování povrchu vzorku. Pro tyto účely jsou ideální volbou polohovací systémy od Physik Instrumente založené na piezo technologii – tyto systémy lze integrovat přímo do mikroskopu, díky tomu mohou pohybovat celým revolverovým nosičem objektivů a následně i jednotlivými objektivy ve směru osy Z s vysokou přesností. Pracují bez opotřebení nebo tření a bez vůle. Kromě toho mohou zrychlovat až do 10 g – jsou proto vhodné pro vysoké frekvence nezbytné pro 3D měření povrchu v reálném čase.

P-725 PIFOC – Objektivový scanner s dlouhým rozsahem polohování

• Rozsah polohování objektivu v ose Z od 120 do 460 µm
• Jemné polohování objektivů se sub-nanometrovým rozlišením
• Vysoce přesný systém pro lepší stabilitu zaostření a skenování v Z
• Vynikající životnost díky piezoelektrickým PICMA aktuátorům
• Přímé měření polohy díky kapacitním sensorům, nejvyšší linearita
• Průměr apertury až do 29 mm

P-721 PIFOC – Vysoce přesný objektivový scanner

• Rozsah polohování až 140 µm, s usazovacím časem v řádech ms
• Jemné polohování objektivů se sub-nanometrovým rozlišením
• Průměr apertury až do 29 mm
• Výborná stabilita a minimální posun objektivu díky paralelnímu vedení
• Nejvyšší linearita díky technologii přímého měření polohy s kapacitními senzory
• Snadná instalace díky QuickLock závitu

PD72Z1x – PIFOC Objektivový skenovací systém 100 µm

• Kompletní systém s objektivovým skenerem, digitálním controllerem, softwarem a volitelným QuickLock závitovým adaptérem
• Rozsah polohování 100 µm
• Rozlišení 1nm (closed loop)
• Jemné polohování objektivů se sub-nanometrovým rozlišením
• Přímé odměřování polohy díky kapacitním senzorům
• Během provozu lze měnit všechny parametry servopohonu

P-737 – PIFOC polohovací systém pro skenování vzorků v Z

• Rozsah polohování od 100 µm do 500 µm
• Nízký profil 20 mm
• Široká apertura 128.5 mm x 86.5 mm pro umístění kultivačních destiček
• Tuhé vedení, velká nosnost, izolace vibrací a otřesů
• 100% kompatibilita s vakuem
• Práce v širokém teplotním rozsahu -20°C až +80°C

ND72Z2LAQ – PIFOC Objektivový skenovací systém 2000 µm

• Kompletní systém s objektivovým skenerem, digitálním controllerem, softwarem a M32 QuickLock závitovým adaptérem
• Rozsah polohování 2000 µm
• Rozlišení senzoru 0.5 nm
• Vysoce dynamický krok a usazení při snímání Z-stacků
• Bezkontaktní optické enkodéry pro přesné odměřování polohy s vysokou přesností
• Během provozu lze měnit všechny parametry servopohonu

H-811.I2 – Rychlý, kompaktní a vysoce přesný miniaturní hexapod

• Rozsah pohybu ±17 mm / ±21°
• Opakovatelnost polohování až ±0.06 µm
• Nosnost až 5 kg
• Rychlost polohování až 10 mm/s
• K dispozici i vakuová verze
• Virtuální pivot point

L-731 – Přesný XY stolek s vysokou přesností a stabilitou polohování

• Rozsah polohování 205 mm x 205 mm
• Rychlost polohování až 90 mm/s
• Jednosměrná opakovatelnost polohování až 0.05 µm
• Verze s krokovými nebo DC motory
• Vysoké rozlišení až 1nm díky inkrementálnímu lineárnímu enkodéru
• Verze s rotačním enkodérem s 20 000 impulsy/otáčku