Optický 3D profiloměr Newview 9000

---

Zadání a požadavky klienta

Variabilní systém pro měření profilu, drsnosti, tvaru a rozměrů mikromodulů a jejich komponent.

Strojové učení kombinované s plně motorizovaným 5-osým polohováním pro plnou automatizaci měření, vyhodnocování a reportování dat.

Možnost měření i nekovových materiálů (matných i lesklých, průhledných i neprůhledných).

Vyhodnocování asférických tvarů.

Naše řešení

Optický 3D profilometr na bázi WLI-CSI od předního amerického výrobce Zygo Inc. (Ametek).

Jedná se o sestavu white-light interferometrického 3D mikroskopu s možností měření fázovým posuvem (phase shifting interferometry) pro dosažení sub-angströmové opakovatelnosti pro libovolné zorné pole. Rozlišení v ose Z je nezávislé na zvětšení objektivu.

Sestava slouží k měření prakticky libovolného povrchu, obsluha přístroje je extrémně jednoduchá a umožňuje kompletní měření stisknutím jediného tlačítka.

Vyhodnocení je možné provádět ve 3D datech nebo v libovolných 2D řezech (kruhové či přímé řezy). Samozřejmostí je možnost exportu naměřeného povrchu do 3D modelu.

Dodaná sestava obsahuje integrovanou anti-vibračního desku a díky optimalizovaným měřicím módům dosahuje extrémně vysoké opakovatelnosti a přesnosti měření v těch nejnáročnějších podmínkách, a to přímo ve výrobní hale u obráběcího stroje.

Parametry zařízení

• Polohování vzorku: motorizovaný 5-osý stolek XYZRP
• Sada interferometrických objektivů
• Sada přídavného optického zoomu
• Možnost sešívání zorných polí: ANO
• Opakovatelnost topografie povrchu: < 0,08 nm
• SW: Špičkový software Mx™ vyvíjený na míru pro potřeby měření a analýzy povrchů

Související produkty

Další fotografie