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Anwendungsbereiche:

Messung von Rauheit, Krümmung und Spannung dünner Schichten in Forschung und Produktion

Alpha-Step® D-500 Stylus-Profiler

Der Alpha-Step® D-500 ist ein Taster-Profilometer, das 2D-Höhen von wenigen Nanometern bis zu 1200 µm messen kann. Es unterstützt zudem 2D-Messungen von Rauheit, Krümmung und Spannung dünner Schichten. Das Gerät ist mit einem manuellen Tisch (140 mm) und einer fortschrittlichen Optik mit einer hochauflösenden Farbkamera ausgestattet.

Hauptmerkmale

  • Messbereich der Stufenhöhe: von Nanometern bis 1200 µm
  • Geringe Kraft: 0,03 – 15 mg
  • Hochauflösende 5-MP-Farbkamera
  • Keystone-Korrektur – Beseitigung von Verzerrungen durch die seitliche Optik
  • Arc-Korrektur – Beseitigung von Fehlern, die durch die bogenförmige Bewegung der Spitze verursacht werden
  • Kleinste Abmessungen unter den Tisch-Stiftprofilometern
  • Benutzerfreundliche Software
Richard Schuster
Fachberater

Ing. Richard Schuster

+420 601 123 593

schuster@optixs.cz

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Produktbeschreibung

Der Alpha-Step® D-500 ermöglicht die 2D-Messung von Stufenhöhe, Rauheit, Krümmung und Spannung. Die innovative Technologie des optischen Hebels gewährleistet eine hohe Messauflösung, einen großen vertikalen Messbereich und eine geringe Messkraft.

Der Vorteil der Tastermethode liegt in der direkten Messung, die unabhängig von den Materialeigenschaften ist. Die einstellbare Kraft und die Auswahl der Tasterspitzen ermöglichen präzise Messungen einer breiten Palette von Strukturen und Materialien. Dadurch lassen sich die Menge des aufgetragenen oder abgetragenen Materials sowie Veränderungen in der Struktur durch Rauheits- und Spannungsmessungen quantifizieren.

Das System ist für Universitäten, Forschungslabore und Produktionsumgebungen konzipiert und findet Anwendung in der Halbleiterindustrie, der LED-Herstellung, der Solarenergie, bei MEMS sowie in der Automobil- und Medizinindustrie.

Anwendung

  • Stufenhöhenmessung: 2D-Messung der Stufenhöhe (Nanometer – 1200 µm), Quantifizierung des Materials nach Ätz-, Sputter-, SIMS-, Abscheidungs-, Spin-Coating- und CMP-Prozessen u. a.
  • Textur: Messung von Rauheit und Welligkeit (2D), Berechnung von Parametern wie der RMS-Rauheit.
  • Form: Messung der Oberflächenkrümmung (2D), z. B. von Wafern oder Linsen.
  • Spannung: Messung der Spannung in dünnen Schichten (2D), Berechnung nach der Stoney-Gleichung.

Branche

  • Universitäten, Forschungslabore und Institute
  • Halbleiter- und Verbindungshalbleiterindustrie
  • LED (Leuchtdioden)
  • Solartechnik
  • MEMS – mikroelektromechanische Systeme
  • Automobilindustrie
  • Medizinische Geräte

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