Alpha-Step® D-500 Stylus Profiler
Alpha-Step® D-500 Stylus Profiler Alpha-Step® D-500 Stylus Profiler Alpha-Step® D-500 Stylus Profiler Alpha-Step® D-500 Stylus Profiler
KLA Instruments - Logo
KLA Instruments

Aplikační oblasti:

Měření výšky stupňů, drsnosti, zakřivení a napětí tenkých vrstev v prostředí výzkumu i výroby

Alpha-Step® D-500 Stylus Profiler

Alpha-Step® D-500 je stylusový profilometr schopný měřit 2D výšku stupňů od několika nanometrů do 1200 µm. Podporuje také 2D měření drsnosti, zakřivení a napětí tenkých vrstev. Je vybaven manuálním stolem (140 mm) a pokročilou optikou s barevnou kamerou s vysokým rozlišením.

Klíčové vlastnosti

  • Rozsah měření výšky stupňů: od nanometrů do 1200 µm
  • Nízká síla: 0,03 – 15 mg
  • 5MP barevná kamera s vysokým rozlišením
  • Keystone korekce – odstranění zkreslení z boční optiky
  • Arc korekce – odstranění chyby způsobené obloukovým pohybem hrotu
  • Nejmenší rozměry mezi stolními stylusovými profilometry
  • Uživatelsky přívětivý software
Richard Schuster
Odborný poradce

Ing. Richard Schuster

+420 601 123 593

schuster@optixs.cz

Zaslat poptávku

  • Odborně zkonzultujeme vaši plánovanou aplikaci
  • Náš tým je schopen produkt integrovat i do většího systému
  • Zajistíme rychlé dodání náhradních dílů a lokální servis
S čím dalším můžeme pomoci

Popis produktu

Alpha-Step® D-500 podporuje 2D měření výšky stupňů, drsnosti, zakřivení a napětí. Inovativní technologie optické páky zajišťuje vysoké rozlišení měření, velký vertikální rozsah a nízkou měřicí sílu.

Výhodou stylusové metody je přímé měření, nezávislé na vlastnostech materiálu. Nastavitelná síla a volba hrotu umožňují přesná měření široké škály struktur a materiálů. Díky tomu lze kvantifikovat množství naneseného či odstraněného materiálu a změny ve struktuře prostřednictvím měření drsnosti a napětí.

Systém je navržen pro univerzity, výzkumné laboratoře i výrobní prostředí a nachází využití v polovodičovém průmyslu, výrobě LED, solární energetice, MEMS, automobilovém a medicínském průmyslu.

Aplikace

  • Step Height Measurement: 2D měření výšky stupňů (nanometry – 1200 µm), kvantifikace materiálu po procesech leptání, naprašování, SIMS, depozice, spin coatingu, CMP aj.
  • Texture: měření drsnosti a vlnitosti (2D), výpočet parametrů jako RMS drsnost.
  • Form: měření zakřivení povrchů (2D), např. waferů nebo čoček.
  • Stress: měření napětí tenkých vrstev (2D), výpočet podle Stoneyho rovnice.

Odvětví

  • Univerzity, výzkumné laboratoře a ústavy
  • Polovodičový a sloučeninový polovodičový průmysl
  • LED (světelné diody)
  • Solární technologie
  • MEMS – mikroelektromechanické systémy
  • Automobilový průmysl
  • Medicínská zařízení

Poptat produkt

Máte zájem o produkt? Zašlete nám své požadavky skrze poptávkový formulář nebo využijte přímý kontakt na odborného poradce. Rádi zodpovíme vaše dotazy a navrhneme řešení dle vašich potřeb.

Odborný poradce

Richard Schuster

Ing. Richard Schuster

tel: +420 601 123 593
mail: schuster@optixs.cz