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Anwendungsbereiche:

Filmetrics® F20

Filmetrics® F20 ist ein Gerät zur Analyse dünner Schichten, das die Dicke und die optischen Eigenschaften von Materialien im Bereich von 1 nm bis 3 mm misst. Das Gerät arbeitet nach dem Prinzip der Lichtinterferenz an dünnen Schichten und Mehrfachschichten.
Es handelt sich um ein vielseitiges Werkzeug für verschiedene Anwendungsbereiche, wie beispielsweise Halbleiter, Displays, optische Schichten und Schutzbeschichtungen.

Wichtigste Merkmale

  • Erschwinglicher Preis
  • Konfigurierbares System von routinemäßigen Punktmessungen bis hin zur großflächigen Abtastung der Probe
  • Schnelle Messung und einfache Bedienung
  • Intuitive Software FILMeasure mit umfangreicher Bibliothek an Materialien und Analysemodellen
  • Wählbarer Spektralbereich
  • Patentiertes Selbstkalibrierungssystem AutoCal™
Richard Schuster
Fachberater

Ing. Richard Schuster

+420 601 123 593

schuster@optixs.cz

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  • Unser Team ist in der Lage, das Produkt in ein größeres System zu integrieren
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Parameter

Der Dünnschichtanalysator Filmetrics® F20 ist in mehreren Konfigurationen erhältlich, die sich vor allem im Messbereich der Schichtdicke (und den Wellenlängen des Spektrometers) unterscheiden, um einer breiten Palette von Anwendungen gerecht zu werden:

Modell Messbarer Dickenbereich Spektralbereich
F20 15 nm – 70 µm 380 – 1050 nm
F20-EXR 15 nm – 250 µm 380 – 1700 nm
F20-NIR 100 nm – 250 µm 950 – 1700 nm
F20-UV 1 nm – 40 µm 190 – 1100 nm
F20-UVX 1 nm – 250 µm 190 – 1700 nm
F20-XT 0,2 µm – 450 µm 1440 – 1690 nm
F3-sX 10 µm – 3 mm 960 – 1580 nm

Messpunktgröße: Standardmäßig 1,5 mm, mit wählbaren Optionen bis zu 20 µm. Beim Modell F20-XT beträgt die Standard-Messpunktgröße 600 µm.

Probengröße: Es können Proben mit einem Durchmesser von 1 mm bis 300 mm und mehr gemessen werden.

Messparameter: Alle F20-Modelle unterstützen die Messung von Dicke, Brechungsindex, Reflektivität und Transmissionsgrad. Sie können ein- oder mehrschichtige Filmsätze, einzelne Membranen, Flüssigkeitsfilme oder Luftspalten charakterisieren. Die Messungen können an sowohl flachen als auch gekrümmten Oberflächen durchgeführt werden.

Software: Zu jedem System gehört die intuitive Analysesoftware FILMeasure, die eine Bibliothek mit mehr als 130 Materialien enthält und Zugriff auf weitere Hunderte bietet. Sie ermöglicht zudem die Messung und Speicherung der Brechungsindexwerte neuer Materialien. Sie umfasst eine integrierte Online-Diagnose sowie eine Verlaufsfunktion zum Speichern und Darstellen der Ergebnisse.

Filmetrics® F20

Zubehör

  • Die Software FILMeasure 9 (Link) bietet ein außergewöhnliches Maß an Kontrolle und lässt sich leicht an die unterschiedlichen Bedürfnisse der Anwender anpassen, sei es für Forschungszwecke oder für Qualitätskontrollinstrumente.
  • SampleCam – Kamera zur visuellen Aufzeichnung des Messbereichs auf der Probe
  • Wählbare Grundplattengröße
  • Manuelle oder motorisierte XY-Verschiebungen der Probe
  • Mikrofokussiermodule
  • Kontaktsonden
  • Kalibrierstandards

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