KLA Instruments - Logo
KLA Instruments

Aplikační oblasti:

Filmetrics® F20

Filmetrics® F20 je přístroj pro analýzu tenkých vrstev, měřící tloušťku a optické vlastnosti materiálů v rozsahu od 1 nm do 3 mm. Zařízení funguje na principu interference světla na tenkých vrstvách a multivrstvách.
Jedná se o všestranný nástroj pro různé aplikační oblasti, jako napříáklad polovodiče, displeje, optické vrstvy a ochranné povlaky.

Klíčové vlastnosti

  • Cenová dostupnost
  • Konfigurovatelná sestava od rutinního bodového měření po velkoplošný mapping vzorku
  • Rychlé měření a snadné ovládání
  • Intuitivní software FILMeasure s rozsáhlou knihovnou materiálů i analytických modelů
  • Volitelný spektrální rozsah
  • Patentovaný autokalibrační systém AutoCal™
Richard Schuster
Odborný poradce

Ing. Richard Schuster

+420 601 123 593

schuster@optixs.cz

Zaslat poptávku

OptiXs care

  • Odborně zkonzultujeme vaši plánovanou aplikaci
  • Náš tým je schopen produkt integrovat i do většího systému
  • Zajistíme rychlé dodání náhradních dílů a lokální servis
S čím dalším můžeme pomoci

Parametry

Analyzátor tenkých vrstev Filmetrics® F20 je k dispozici v několika konfiguracích, které se liší především rozsahem měření tloušťky (a vlnových délek spektrometru), aby vyhovovaly široké škále aplikací:

Model Měřitelný rozsah tloušťky Spektrální rozsah
F20 15 nm – 70 µm 380 – 1050 nm
F20-EXR 15 nm – 250 µm 380 – 1700 nm
F20-NIR 100 nm – 250 µm 950 – 1700 nm
F20-UV 1 nm – 40 µm 190 – 1100 nm
F20-UVX 1 nm – 250 µm 190 – 1700 nm
F20-XT 0.2 µm – 450 µm 1440 – 1690 nm
F3-sX 10 µm – 3 mm 960 – 1580 nm

Velikost měřicího bodu: Standardně 1,5 mm, s volitelnými možnostmi až do 20 µm. Pro model F20-XT je standardní velikost bodu 600 µm.

Velikost vzorku: Lze měřit vzorky o průměru od 1 mm do 300 mm a více.

Měřicí parametry: Všechny modely F20 podporují měření tloušťky, indexu lomu, odrazivosti a propustnosti. Dokáží charakterizovat jedno- nebo vícevrstvé filmové sady, samostatné membrány, kapalné filmy nebo vzduchové mezery. Měření je možné provádět na plochých i zakřivených površích.

Software: Součástí každého systému je intuitivní analytický software FILMeasure, který obsahuje knihovnu s více než 130 materiály a poskytuje přístup k dalším stovkám. Umožňuje také měření a ukládání hodnot indexu lomu nových materiálů. Zahrnuje vestavěnou online diagnostiku a funkci historie pro ukládání a vykreslování výsledků.

Filmetrics® F20

Příslušenství

  • Software FILMeasure 9 (link) poskytující výjimečnou míru kontroly a je snadno přizpůsobitelný různým potřebám uživatelů, ať už pro výzkumné účely, nebo pro nástroje kontroly kvality.
  • SampleCam - Kamera pro vizuální záznam měřené lokality na vzorku
  • Volitelná velikost základny
  • Manuální či motorizované XY posuvy vzorku
  • Mikrofokusační moduly
  • Kontaktní sondy
  • Kalibrační standardy

Poptat produkt

Máte zájem o produkt? Zašlete nám své požadavky skrze poptávkový formulář nebo využijte přímý kontakt na odborného poradce. Rádi zodpovíme vaše dotazy a navrhneme řešení dle vašich potřeb.

Odborný poradce

Richard Schuster

Ing. Richard Schuster