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Filmetrics® F40

Filmetrics® F40 verwandelt Ihr Mikroskop in ein Messgerät für Dünnschichten. Es ermöglicht die Messung von Schichtdicke, optischen Konstanten und Reflektivität innerhalb weniger Sekunden mit einer Messpunktgröße von bis zu 1 µm und eignet sich für strukturierte, gekrümmte und inhomogene Proben.

Hauptmerkmale

  • Messpunktgröße bis zu 1 µm
  • Integrierte Live-Kamera mit Mikroskopoptik
  • Intuitive FILMeasure-Software im Lieferumfang enthalten
  • Umfassendes Zubehörset im Lieferumfang enthalten
  • Patentierte Technologie zur Dickenmessung für zuverlässige und kosteneffiziente Messtechnik
Richard Schuster
Fachberater

Ing. Richard Schuster

+420 601 123 593

schuster@optixs.cz

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Produktbeschreibung

Das Filmetrics® F40 verfügt über eine integrierte Live-Kamera, die mit der Mikroskopoptik verbunden ist und eine Messpunktgröße von bis zu 1 µm ermöglicht. Dadurch eignet es sich für die Messung strukturierter, gekrümmter und inhomogener Proben.

Zum System gehören die Analysesoftware FILMeasure sowie ein umfassendes Zubehörpaket, das eine intuitive Analyse und zuverlässige Ergebnisse in einem breiten Anwendungsspektrum ermöglicht. Zu den typischen Anwendungsbereichen gehören die Fehleranalyse von integrierten Schaltkreisen (IC-Fehleranalyse), die Messung von ITO/TCO-Schichten, Beschichtungen für medizinische Anwendungen, OLED-Displays, porösem Silizium und Halbleiter-Prozessschichten.

Die patentierte Technologie zur Dickenmessung ermöglicht eine einfachere Einrichtung, weniger Rezepturen, eine robustere Mustererkennung und geringere Kosten als bei herkömmlichen Messgeräten für Dünnschichten. Es sind sowohl eigenständige als auch integrierte Versionen erhältlich.

Anwendung

  • IC-Fehleranalyse – z. B. Delayerung der Frontseite, Messung des Dielektrikums nach der Ausdünnung
  • ITO-/TCO-Schichten – Messung von Indium- und Zinnoxidschichten sowie anderen transparenten leitfähigen Oxiden
  • Biomedizinische Beschichtungen – Katheter, Ballons für die Angioplastie, Stents, Führungsdrähte, Nadeln, Implantate
  • OLED-Displays – OLED-Schichten (Emissions-, Injektions-, Puffer- und Einkapselungsschichten)
  • Poröses Silizium – Messung von Schichtdicke, Brechungsindex und Porosität
  • Halbleiter-Prozessschichten – Fotolacke, Oxide/Nitride, Si und andere

Parameter

F40-Konfiguration – Wählen Sie das passende Modell entsprechend dem Messbereich
F40-Konfiguration – wählen Sie das passende Modell entsprechend dem Messbereich
Modell Dickenbereich* Spektralbereich
F40 20 nm – 40 µm 400 – 850 nm
F40-UV 4 nm – 40 µm 190 – 1100 nm
F40-EXR 20 nm – 150 µm 400 – 1700 nm
F40-NIR 100 nm – 120 µm 950 – 1700 nm
F40-UVX 4 nm – 120 µm 190 – 1700 nm
F40-XT 0,4 µm – 250 µm 1440 – 1690 nm

* Abhängig vom Material und vom Objektiv.

Zubehör

  • StageBase-XY10-Auto-100mm – Tisch-XY-Verschiebung mit 100 mm Hub, motorisierter Abtastung und Autofokus
  • Standards für Filmdicken – Mehrwertige, NIST-rückführbare Standards zur Kalibrierung und Genauigkeitsüberprüfung
  • SS-Microscope-UVX-1 – Mikroskop (15×-Reflexionsobjektiv) mit XY-Tisch, UV-Lichtquelle und Lichtleiter
  • SS-Microscope-EXR-1 – Mikroskop mit XY-Tisch und Lichtleiter (Objektiv erforderlich; Lichtquelle wird vom F40 bereitgestellt)

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Richard Schuster

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