Poptat řešení
KLA Instruments - Logo
KLA Instruments

Aplikační oblasti:

Filmetrics® F40

Filmetrics® F40 promění váš mikroskop v nástroj pro měření tenkých vrstev. Umožňuje měřit tloušťku, optické konstanty a odrazivost během několika sekund, s velikostí měřicího bodu až 1 µm, vhodné pro strukturované, zakřivené a nehomogenní vzorky.

Klíčové vlastnosti

  • Velikost měřicího bodu až 1 µm
  • Integrovaná kamera s živým obrazem a mikroskopickou optikou
  • Intuitivní software FILMeasure v základní výbavě
  • Kompletní sada příslušenství v balení
  • Patentovaná technologie zobrazování tloušťky pro spolehlivou a nákladově efektivní metrologii
Richard Schuster
Odborný poradce

Ing. Richard Schuster

+420 601 123 593

schuster@optixs.cz

Zaslat poptávku

  • Odborně zkonzultujeme vaši plánovanou aplikaci
  • Náš tým je schopen produkt integrovat i do většího systému
  • Zajistíme rychlé dodání náhradních dílů a lokální servis
S čím dalším můžeme pomoci

Popis produktu

Filmetrics® F40 zahrnuje integrovanou kameru s živým obrazem, propojenou s mikroskopickou optikou, která umožňuje velikost měřicího bodu až 1 µm. Díky tomu je vhodný pro měření strukturovaných, zakřivených a nehomogenních vzorků.

Součástí systému je analytický software FILMeasure a kompletní sada příslušenství, která umožňuje intuitivní analýzu a spolehlivé výsledky v širokém spektru aplikací. Typické využití zahrnuje analýzu poruch integrovaných obvodů (IC Failure Analysis), měření vrstev ITO/TCO, povlaků pro medicínské aplikace, OLED displejů, porézního křemíku a polovodičových procesních vrstev.

Patentovaná technologie zobrazování tloušťky umožňuje jednodušší nastavení, méně receptur, robustnější rozpoznávání vzorů a nižší náklady než u konvenčních metrologických nástrojů pro tenké vrstvy. K dispozici jsou samostatné i integrované verze.

Aplikace

  • IC Failure Analysis – např. přední delayering, měření dielektrika po ztenčení
  • ITO / TCO vrstvy – měření vrstev oxidu india a cínu a dalších transparentních vodivých oxidů
  • Biomedicínní povlaky – katétry, balonky pro angioplastiku, stenty, vodiče, jehly, implantáty
  • OLED displeje – vrstvy OLED (emisní, injekční, buffer, zapouzdřovací)
  • Porézní křemík – měření tloušťky, indexu a pórovitosti vrstev
  • Polovodičové procesní filmy – fotorezisty, oxidy/nitridy, Si a další

Parametry

Konfigurace F40 – zvolte vhodný model podle rozsahu měření
Konfigurace F40 – zvolte vhodný model podle rozsahu měření
Model Rozsah tloušťky* Spektrální rozsah
F40 20 nm – 40 µm 400 – 850 nm
F40-UV 4 nm – 40 µm 190 – 1100 nm
F40-EXR 20 nm – 150 µm 400 – 1700 nm
F40-NIR 100 nm – 120 µm 950 – 1700 nm
F40-UVX 4 nm – 120 µm 190 – 1700 nm
F40-XT 0,4 µm – 250 µm 1440 – 1690 nm

* V závislosti na materiálu a objektivu.

Příslušenství

  • StageBase-XY10-Auto-100mm – stolní XY posuv s 100 mm zdvihu, motorizovaným mapováním a autofokusem
  • Standardy pro tloušťku filmů – vícehodnotové, NIST-traceable standardy pro kalibraci a ověřování přesnosti
  • SS-Microscope-UVX-1 – mikroskop (15× reflektivní objektiv) s XY stolem, UV zdrojem a osvětlovacím vláknem
  • SS-Microscope-EXR-1 – mikroskop s XY stolem a osvětlovacím vláknem (vyžaduje objektiv; světelný zdroj je předpokládán z F40)

Poptat produkt

Máte zájem o produkt? Zašlete nám své požadavky skrze poptávkový formulář nebo využijte přímý kontakt na odborného poradce. Rádi zodpovíme vaše dotazy a navrhneme řešení dle vašich potřeb.

Odborný poradce

Richard Schuster

Ing. Richard Schuster

tel: +420 601 123 593
mail: schuster@optixs.cz