Zygo Qualifire ist mit den neuesten Technologien im Bereich der Laserinterferometrie ausgestattet. Das System nutzt hochstabile Laserquellen mit langer Lebensdauer und minimalem thermischen Drift. Dank der neu implementierten Technologie zur dynamischen Messung (QPSI) ist es möglich, auch an sich bewegenden oder vibrierenden Bauteilen Messungen mit hoher Genauigkeit durchzuführen. Das Interferometer verfügt zudem über fortschrittliche Software-Tools zur automatischen Auswertung der Messungen, wodurch Produktionsfehler schnell identifiziert und analysiert werden können, um so die Gesamtqualität der Fertigungsprozesse zu verbessern.
Flying Spot – Eine innovative Methode zur Beseitigung von Kohärenzartefakten bietet ein Maß an Zuverlässigkeit, das bei anderen Rauschunterdrückungssystemen nicht üblich ist. Durch die Beseitigung von kohärentem räumlichem Rauschen und störenden Kohärenzartefakten aus dem Resonator bietet Flying Spot das beste Verhältnis von Signal zu Rauschen für hochpräzise Messungen. Das Qualifire-System mit aktiviertem Flying-Spot-Modul kombiniert das Beste der patentierten Technologien Ring of Fire und Coherent Artifact Reduction System (CARS) und schafft so eine einzigartige Lösung zur Rauschunterdrückung.
Plano Cavity Autofocus – Bei Geräten mit der höchsten Auflösung auf dem Markt (bis zu 11 MPx) muss eine präzise Fokussierung auf die zu prüfende Oberfläche erreicht werden. Das Flying-Spot-Modul ermöglicht eine auf dem Phasenprinzip basierende Autofokus-Methode. Das bedeutet, dass eine äußerst präzise Fokussierung auf perfekt spiegelglatte Oberflächen eingestellt werden kann, ohne dass Kanten, Referenzpunkte, Gitter oder andere physikalische Hilfsmittel verwendet werden müssen, die für die manuelle oder intensive Fokussierung erforderlich sind. Tatsächlich lässt sich die präzise Fokussierung ohne Eingreifen des Bedieners erreichen.
Stabiler Zoom – Ein neues, patentiertes Verfahren für einen stabilen Zoom ohne bewegliche optische Elemente gewährleistet eine stabile optische Vergrößerung, bei der es zu keiner Verschiebung des Brennpunkts oder der Bildzentriertheit kommt. Dieser beugungsbegrenzte Zoom im Vergrößerungsbereich von 1x bis 3x verbessert zudem deutlich die Übertragungsfunktion des Geräts (ITF), was die Quantifizierung von Elementen mit mittlerer und hoher Raumfrequenz erleichtert. Da sich bei einer Änderung der Systemvergrößerung weder der Fokus noch die Zentrierung des Bildes verschiebt, kann die Auswertung von Systemfehlern bei allen Vergrößerungen ohne Verlust der Datengenauigkeit beibehalten werden.
Intelligentes Zubehör – Die Verwendung von intelligentem Zubehör von Zygo ermöglicht Smart-Setup-Funktionen. Die Smart-Setup-Funktion stellt die laterale Auflösung und weitere Geräteparameter automatisch ein, basierend auf der automatischen Erkennung des Zubehörs bzw. – im Falle der Smart Transmission Spheres – des Krümmungsradius des Werkstücks. Anschließend wird die werkseitig kalibrierte Systemfehlerkarte automatisch angepasst und von den Messdaten abgezogen, was die beste Messtechnik auf dem Markt bei verkürzter Einrichtungszeit ermöglicht.
Der hermetisch abgeschlossene optische Teil des Interferometers macht das System deutlich widerstandsfähiger gegenüber Verunreinigungen aus der Umgebung und erleichtert eventuelle Wartungsarbeiten, wie beispielsweise den Austausch der Laserquelle.
Eine weitere Neuerung gegenüber der Vorgängergeneration ist derintegrierte Piezoverschiebemechanismus (PMR) für PSI und QPSI, der das System nicht nur kompakter, sondern auch widerstandsfähiger macht. Zudem ist das Systemdesign für einfachste Wartungsarbeiten vor Ort optimiert, sodass kein Versand des Systems an ein Servicelabor erforderlich ist und keine hohen Anforderungen an die Reinheit der Umgebung gestellt werden.
Qualifire™ stellt die Spitze unter den interferometrischen Messsystemen dar. Seine Fähigkeit, schnelle, präzise und wiederholbare Ergebnisse zu liefern und gleichzeitig die gesamte Messzeit sowie die Anforderungen an Fachwissen ist es, was es von anderen unterscheidet und es zur idealen Lösung für eine breite Palette von Anwendungen macht.
