Zygo Qualifire je vybaven nejnovějšími technologiemi v oblasti laserové interferometrie. Systém využívá vysoce stabilní laserové zdroje s dlouhou životností a minimálním tepelným driftu. Díky nově implementované technologii dynamického měření (QPSI) je možné provádět měření i na pohybujících se či vibrujících komponentech s vysokou přesností. Interferometr také obsahuje pokročilé softwarové nástroje pro automatické vyhodnocení měření, což umožňuje rychle identifikovat a analyzovat produkční vady a zlepšit tak celkovou kvalitu výrobních procesů.
Flying Spot - Inovativní způsob eliminace koherenčních artefaktů poskytuje úroveň jistoty, která není u jiných systémů redukce šumu obvyklá. Odstraněním koherenčního prostorového šumu a nepříjemných koherenčních artefaktů z kavity poskytuje Flying Spot nejlepší poměr signálu k šumu pro vysoce přesná měření. Systém Qualifire s aktivovaným modulem Flying Spot kombinuje to nejlepší z patentovaných technologií Ring of Fire a Coherent Artifact Reduction System (CARS) a vytváří tak jediné řešení redukce šumu.
Plano Cavity Autofocus - U přístrojů s nejvyšším rozlišením na trhu (až 11 MPx) je třeba dosáhnout přesného zaostření na testovaný povrch. Modul Flying Spot umožňuje metodu automatického zaostřování založenou na fázovém principu. To znamená, že lze nastavit velmi přesné zaostření na dokonale zrcadlové povrchy, aniž by bylo nutné používat hrany, fiduciály, síťky nebo jiné fyzikální artefakty nezbytné pro manuální nebo intenzitní zaostřování. Ve skutečnosti lze přesného zaostření dosáhnout bez zásahu obsluhy.
Stabilní zoom - Nová, patentovaná metoda stabilního zoomu bez pohyblivých optiuckých prvků zajišťuje stabilní optické zvětšení, při kterém nedochází k posunu ohniska nebo centricity obrazu. Tento difrakčně limitovaný zoom v rozsahu zvětšení 1x až 3x výrazně zlepšuje i přenosovou funkci přístroje (ITF), což usnadňuje kvantifikaci prvků se střední a vysokou prostorovou frekvencí. Vzhledem k tomu, že při změně zvětšení systému nedochází k posunu zaostření obrazu ani jeho vycentrování, lze zachovat odečítání chyb systému při všech zvětšeních bez ztráty věrnosti dat.
Chytré příslušenství - Použití chytrého příslušenství Zygo umožňuje funkce chytrého nastavení. Funkce Smart Setup automaticky nastaví laterální rozlišení a další parametry přístroje na základě automatického rozpoznání příslušenství, případě Smart Transmission Spheres poloměru zakřivení dílu. Poté se automaticky přizpůsobí mapa chyb systému kalibrovaná z výroby a odečte se od naměřených dat, což umožňuje nejlepší metrologii na trhu se zkrácenou dobou nastavení.
Hermeticky uzavřená optická část interferometru činí systém výrazně odolnější vůči nečistotám z okolního prostředí a usnadňuje případné servisní zásahy, jako například výměnu laserového zdroje.
Další z novinek oproti předchozí generaci je integrovaný piezoposuv (PMR) pro PSI a QPSI, což činí systém nejen kompaktnějším, ale také odolnějším. Navíc je design systému optimalizován pro snazší servisní zásahy na místě, tedy bez nutnosti odesílání systému do servisní laboratoře a bez vysokých nároků na čistotu prostředí.
Qualifire™ představuje špičku ve světě interferometrických měřicích systémů. Jeho schopnost poskytnout rychlé, přesné a opakovatelné výsledky při současném snížení celkové doby měření a nároků na odborné znalosti je to, co ho odlišuje od ostatních a činí ideálním řešením pro širokou škálu aplikací.
