Tencor® P-17 & Tencor® P-17 OF

Der Tencor® P-17 ist die achte Generation von Tisch-Stiftprofilometern und basiert auf mehr als 45 Jahren Erfahrung im Bereich der Oberflächenmesstechnik. Dieses hochmoderne System unterstützt 2D- und 3D-Messungen von Höhenunterschieden, Rauheit, Krümmung und Spannung für Scans bis zu 200 mm ohne Stitching.

Die Messstabilität wird durch die Kombination aus dem UltraLite®-Sensor, der Konstantkrafttechnologie und dem ultraflachen Scantisch gewährleistet. Die Einrichtung der Messung erfolgt schnell und einfach dank der „Point-and-Click“-Steuerung des Tisches, der oberen und seitlichen Optik sowie einer hochauflösenden Kamera mit optischem Zoom.

Der P-17 unterstützt vollautomatische Messungen, einschließlich Mustererkennung, Sequenzierung und Erkennung von Elementen. Die Software umfasst eine breite Palette an Filtern, Nivellierungsfunktionen und Analysealgorithmen zur Quantifizierung der Oberflächentopografie.

• Stufenhöhe: Messung der Stufenhöhe (2D/3D) von Nanometern bis 1000 µm – Quantifizierung des Materials nach Ätz-, Sputter-, Abscheidungs-, Spin-Coating-, CMP- und anderen Prozessen.
• Textur: Messung von Rauheit und Welligkeit (2D/3D), Berechnung der RMS-Rauheit.
• Form: Messung der Krümmung und Form von Oberflächen (2D/3D), z. B. von Wafern oder optischen Linsen.
• Stress: Messung der Spannung in dünnen Schichten (2D/3D) anhand der Änderung der Oberflächenkrümmung, Berechnung nach der Stoney-Gleichung.
• Defect Review: Messung der Topografie von Defekten (z. B. Kratzern), Import von Koordinaten aus KLARF-Dateien und gezielte 2D/3D-Messungen.

• Universitäten, Forschungslabore und Institute
• Halbleiter- und Verbindungshalbleiterindustrie
• LED (Leuchtdioden)
• Solartechnologie
• MEMS – mikroelektromechanische Systeme
• Datenspeicher
• Automobilindustrie
• Medizinische Geräte
• Und weitere (auf Anfrage)