Lösung anfragen
KLA Instruments - Logo
KLA Instruments

Anwendungsbereiche:

Messung von Stufenhöhe, Rauheit, Krümmung und Spannung dünner Schichten

Tencor® P-7 Stylus Profiler

Der Tencor® P-7 ist ein Tisch-Stiftprofilometer mit einem Höhenmessbereich von einigen Nanometern bis zu 1 mm. Es unterstützt 2D- und 3D-Messungen von Höhe, Rauheit, Krümmung und Spannung, ohne dass bei Scans bis zu 150 mm Bilder zusammengesetzt werden müssen.

Hauptmerkmale

  • Höhenmessbereich: von Nanometern bis 1000 µm
  • Konstante Kraftsteuerung: 0,03 bis 50 mg
  • Messung der gesamten Probenoberfläche ohne Bildzusammenfügen (bis zu 150 mm)
  • Hochauflösende 5-MP-Farbkamera
  • Bogenkorrektur – Beseitigung von Fehlern, die durch die Bogenbewegung der Spitze verursacht werden
  • Benutzerfreundliche Software-Oberfläche
  • Vollautomatischer Betrieb mit Sequenzierung, Mustererkennung und SECS/GEM-Unterstützung
Richard Schuster
Fachberater

Ing. Richard Schuster

+420 601 123 593

schuster@optixs.cz

Anfrage senden

  • Wir beraten Sie fachkundig zu Ihrer geplanten Anwendung
  • Unser Team ist in der Lage, das Produkt in ein größeres System zu integrieren
  • Wir sorgen für eine schnelle Lieferung von Ersatzteilen und einen Vor-Ort-Service
Womit können wir Ihnen noch helfen

Produktbeschreibung

Der Tencor® P-7 baut auf dem erfolgreichen Tencor P-17-System auf und bietet dessen Präzision in einer kompakten Tischplattform mit einem hervorragenden Preis-Leistungs-Verhältnis. Das Gerät ermöglicht 2D- und 3D-Messungen von Stufenhöhe, Rauheit, Krümmung und Spannung dünner Schichten bei Scans von bis zu 150 mm ohne Stitching.

Dank der Konstantkrafttechnologie ist das P-7 in der Lage, auch weiche Materialien wie Fotolacke präzise zu messen. Das System eignet sich sowohl für Forschungs- als auch für Produktionsanwendungen.

Anwendung

  • Stufenhöhe: 2D- und 3D-Messung der Stufenhöhe von Nanometern bis 1000 µm – für Ätz-, Sputter-, Abscheidungs-, Spin-Coating- oder CMP-Prozesse.
  • Texture: Messung von Rauheit und Welligkeit (2D und 3D); Softwarefilter trennen einzelne Komponenten und berechnen Parameter wie die RMS-Rauheit.
  • Form: Messung der Oberflächenkrümmung und Form (2D und 3D), einschließlich der Krümmungsmessung von Wafern oder optischen Linsen.
  • Spannung: Messung der Spannung in dünnen Schichten (2D und 3D) anhand der Änderung der Oberflächenkrümmung; Berechnung nach der Stoney-Gleichung.
  • Defect Review: Messung der Topografie von Defekten (z. B. Kratzern) auf Basis von KLARF-Dateien aus Inspektionssystemen.

Branche

  • Universitäten, Forschungslabore und Institute
  • Halbleiter- und Verbindungshalbleiterindustrie
  • LED (Leuchtdioden)
  • Solartechnologie
  • MEMS – mikroelektromechanische Systeme
  • Datenspeicher
  • Automobilindustrie
  • Medizinische Geräte

Anfrage für produkt

Interessieren Sie sich für produkt? Senden Sie uns Ihre Anforderungen über das Anfrageformular oder wenden Sie sich direkt an einen unserer Fachberater. Wir beantworten gerne Ihre Fragen und schlagen Ihnen eine auf Ihre Bedürfnisse zugeschnittene Lösung vor.

Fachberater

Richard Schuster

Ing. Richard Schuster

tel: +420 601 123 593
mail: schuster@optixs.cz