Poptat řešení
KLA Instruments - Logo
KLA Instruments

Aplikační oblasti:

Měření výšky stupňů, drsnosti, zakřivení a napětí tenkých vrstev

Tencor® P-7 Stylus Profiler

Tencor® P-7 je stolní stylusový profilometr s rozsahem měření výšky stupňů od několika nanometrů až do 1 mm. Podporuje 2D a 3D měření výšky, drsnosti, zakřivení a napětí bez nutnosti skládání snímků při skenech do 150 mm.

Klíčové vlastnosti

  • Rozsah výšky stupňů: od nanometrů do 1000 µm
  • Řízení konstantní síly: 0,03 až 50 mg
  • Měření celé plochy vzorku bez stitchingu (až 150 mm)
  • 5MP barevná kamera s vysokým rozlišením
  • Korekce oblouku – odstranění chyby způsobené obloukovým pohybem hrotu
  • Uživatelsky přívětivé softwarové rozhraní
  • Plně automatizovaný provoz se sekvencováním, rozpoznáváním vzorů a podporou SECS/GEM
Richard Schuster
Odborný poradce

Ing. Richard Schuster

+420 601 123 593

schuster@optixs.cz

Zaslat poptávku

  • Odborně zkonzultujeme vaši plánovanou aplikaci
  • Náš tým je schopen produkt integrovat i do většího systému
  • Zajistíme rychlé dodání náhradních dílů a lokální servis
S čím dalším můžeme pomoci

Popis produktu

Tencor® P-7 vychází z úspěšného systému Tencor P-17 a nabízí jeho přesnost v kompaktní stolní platformě s vynikajícím poměrem cena/výkon. Přístroj umožňuje 2D a 3D měření výšky stupňů, drsnosti, zakřivení a napětí tenkých vrstev při skenech až do 150 mm bez stitchingu.

Díky technologii konstantní síly je P-7 schopen přesně měřit i měkké materiály, jako jsou fotorezisty. Systém je vhodný pro výzkumné i výrobní aplikace.

Aplikace

  • Step Height: 2D a 3D měření výšky stupňů od nanometrů do 1000 µm – pro procesy leptání, naprašování, depozice, spin coatingu nebo CMP.
  • Texture: měření drsnosti a vlnitosti (2D a 3D), softwarové filtry oddělují jednotlivé složky a počítají parametry, jako je RMS drsnost.
  • Form: měření zakřivení povrchu a tvaru (2D a 3D), včetně měření zakřivení waferů či optických čoček.
  • Stress: měření napětí tenkých vrstev (2D a 3D) pomocí změny zakřivení povrchu; výpočet podle Stoneyho rovnice.
  • Defect Review: měření topografie vad (např. škrábanců) na základě KLARF souborů z inspekčních systémů.

Odvětví

  • Univerzity, výzkumné laboratoře a ústavy
  • Polovodičový a sloučeninový polovodičový průmysl
  • LED (světelné diody)
  • Solární technologie
  • MEMS – mikroelektromechanické systémy
  • Datová úložiště
  • Automobilový průmysl
  • Medicínská zařízení

Poptat produkt

Máte zájem o produkt? Zašlete nám své požadavky skrze poptávkový formulář nebo využijte přímý kontakt na odborného poradce. Rádi zodpovíme vaše dotazy a navrhneme řešení dle vašich potřeb.

Odborný poradce

Richard Schuster

Ing. Richard Schuster

tel: +420 601 123 593
mail: schuster@optixs.cz