- Optixs
- Produkty
- Měření povrchů a vrstev
- Spektroskopické elipsometry
Spektroskopické elipsometry
Spektroskopické elipsometry
Elipsometrie se využívá pro měření vlastností tenkých vrstev a povrchů, pracuje s polarizovaným světlem, které se na zkoumaném povrchu odráží, čímž dochází ke změně jeho polarizace. Při elipsometrii se obecně měří hodnoty týkající se polarizovaného světla, tj. psi a delta a z naměřených dat se pak fitací na určitý model teprve získají materiálové charakteristiky jako tloušťka, index lomu, optická konstanta, ale i další údaje jako depolarizace, anisotropie, krystaličnost, rovnoměrnost či charakteristika přechodových rozhraní.
Námi dodávané systémy od firmy J. A. Woolam jsou světovou špičkou na poli spektroskopické elipsometrie. J. A. Woollam Co. se zaměřuje výhradně na vývoj a výrobu spektroskopických elipsometrů a jejich aplikační podporu.
Elipsometry jsou dostupné buďto jako kompaktní jednoúčelové přístroje s omezeným rozsahem a nebo jako univerzální modulární systémy, které mohou měnit úhel měření, lze s nimi skenovat v širokém spektrálním rozsahu (od UV až do NIR či IR), mají celou škálu přídavných možností a hodí se hlavně pro oblast výzkumu nových materiálů nebo pro studium vlastností při nestandardních podmínkách (vakuum, nízké či vysoké teploty atd.).
Jako zdroj světla je v elipsometrech použitý buď laditelný monochromatický zdroj světla (světelný zdroj v kombinaci s monochromátorem) a na výstupu pak jednoduchý Si případně InGaAs detektor pro pokrytí oblasti od UV do NIR oblasti, nebo je na vstupu klasický širokopásmový světelný zdroj (výbojová lampa či halogenová žárovka) a na výstupu pak CCD či InGaAs lineární detektor, kam se zaznamená celé spektrum v jednom okamžiku. Tento princip je vhodný i pro insitu měření, tj. on-line měření v průběhu procesu.
Naše spektroskopické elipsometry dokáží pokrýt spektrální rozsah od 146 nm do 33.000 nm (33 µm), tedy od VUV (Vacuum Ultra-Violet) po FIR (Far Infra-Red) oblast spaktra. Žhavou novinkou je rozšíření do THz oblasti (model THz-VASE s rozsahem 200 µm – 3 mm)
Základní parametry při výběru elipsometru
- Jednoúčelový systém nebo modulární univerzální elipsometr
- Požadovaný spektrální rozsah a rozlišení (závisí na měřených materiálech a aplikacích)
- Je-li je potřeba měnit úhly
- Jaký je požadavek na rychlost a přesnost
- Jedná-li se o ex-situ, in-situ aplikaci či kombinaci
Rádi s výběrem vhodného typu pomůžeme, také můžeme nechat proměřit vzorky v německé aplikační laboratoři.
In-situ elipsometr iSE
Špičkový spektroskopický elipsometr dedikovaný pro in-situ měření
Elipsometr alpha 2.0
Základní spektroskopický elipsometr s nastavitelnými úhly dopadu.
Mapovací elipsometr RC2® XF s mikrofokusem
Špičkový spektroskopický elipsometr s mikrofokusací. Měření na bázi dual RCE technologie a CCD detekce.
Spektroskopický elipsometr RC2
Nejvyšší řada modulárních spektroskopických elipsometrů se dvěma rotujícími kompenzátory
VASE Elipsometr
Spektroskopický elipsometr se širokým spektrálním rozsahem a nastavitelným úhlem dopadu.
Spektroskopický elipsometr M-2000
Modulární spektroskopické elipsometry s unikátní kombinací rychlosti a přesnosti měření
Mapovací elipsometr Theta-SE
Rychlý spektroskopický elipsometr pro přesné mapování a charakterizaci vrstev