Nejvýkonnější excimerový laser ve střední Evropě
- První instalace excimerového laseru s energií 1 J při 100 Hz na 248 nm ve střední Evropě
- Energetická stabilita < 1 %
- Řešení obsahuje atenuaci svazku a jeho vyvedení na pracovní optický stůl
Zadání a požadavky klienta
Sestava excimerového laseru pro modifikaci polymerů a polovodičů, laserovou ablaci, vytváření periodických struktur na povrchu za účelem zvýšení biokompatibility či vytváření struktur na povrchu polovodičů atd.
Zadavatel zároveň požadoval možnost tlumit výstupní energii pulzu v rozsahu 1 - 100 %, tedy mít možnost aplikovat na vzorek 1 J a nebo také 10 mJ, což není u tak výkonného modelu excimerového laseru běžná funkce.
Naše řešení
Primárně průmyslový výkonný excimerový laser Coherent LEAP s dvojitým atenuátorem pro možnost regulace výstupního výkonu a energie v pulzu. Výstupní svazek je vyveden zakrytým periskopem od laseru na pracovní optický stůl ke vzorku pomocí zrcadel s vysoce odrazným coatingem.
V rámci projektu bylo nakonec největší výzvou nastěhování laseru, který sám o sobě váží téměř 900 kg a jeho půdorys je 2 x 1 metr, navíc jej bylo potřeba dostat do nadzemního patra.
Parametry zařízení
- Vlnová délka 248 nm
- Energie pulsu ≥1000 mJ @ 100Hz
- Max. dosažitelná opakovací frekvence 100 Hz
- Průměrný výkon 100 W
- Energetická stabilita < 1%
- Délka pulsu 36 ns
- Velikost svazku 32 ±3.5 x 13 ±4 mm
- Divergence svazku ≤4.5 x ≤1.5 mrad
- Vodou chlazený
- Komunikační rozhraní USB a Ethernet
- Integrovaný diagnostický systém
Související produkty
Další fotografie

Návrh integrace
Dodání systému
Instalace
Servis
Březen 2020