K používání a měření webu využíváme cookies. Používáním tohoto webu souhlasíte se způsobem, jakým s cookies nakládáme. Další informace

Nejvýkonnější excimerový laser ve střední Evropě

  • První instalace excimerového laseru s energií 1 J při 100 Hz na 248 nm ve střední Evropě
  • Energetická stabilita < 1 %
  • Řešení obsahuje atenuaci svazku a jeho vyvedení na pracovní optický stůl

Zadání a požadavky klienta

Sestava excimerového laseru pro modifikaci polymerů a polovodičů, laserovou ablaci, vytváření periodických struktur na povrchu za účelem zvýšení biokompatibility či vytváření struktur na povrchu polovodičů atd.

Zadavatel zároveň požadoval možnost tlumit výstupní energii pulzu v rozsahu 1 - 100 %, tedy mít možnost aplikovat na vzorek 1 J a nebo také 10 mJ, což není u tak výkonného modelu excimerového laseru běžná funkce.

Naše řešení

Primárně průmyslový výkonný excimerový laser Coherent LEAP s dvojitým atenuátorem pro možnost regulace výstupního výkonu a energie v pulzu. Výstupní svazek je vyveden zakrytým periskopem od laseru na pracovní optický stůl ke vzorku pomocí zrcadel s vysoce odrazným coatingem.

V rámci projektu bylo nakonec největší výzvou nastěhování laseru, který sám o sobě váží téměř 900 kg a jeho půdorys je 2 x 1 metr, navíc jej bylo potřeba dostat do nadzemního patra.

Parametry zařízení

  • Vlnová délka 248 nm
  • Energie pulsu ≥1000 mJ @ 100Hz
  • Max. dosažitelná opakovací frekvence 100 Hz
  • Průměrný výkon 100 W
  • Energetická stabilita < 1%
  • Délka pulsu 36 ns
  • Velikost svazku 32 ±3.5 x 13 ±4 mm
  • Divergence svazku ≤4.5 x ≤1.5 mrad
  • Vodou chlazený
  • Komunikační rozhraní USB a Ethernet
  • Integrovaný diagnostický systém

Související produkty

Další fotografie

Projekt vedl
Petr BřezinaPetr Březina
Kontaktovat obchodníka s podobným projektem
Role optixs v projektu
  • Návrh integrace
  • Dodání systému
  • Instalace
  • Servis
Termín realizace

Březen 2020