Sondy pro detekci RF frekvence

PRODUKTY

Octiv Mono 2.0

RF měřák výkonu, senzor směrového výkonu a analyzátor impedance. Systém měří jednu základní frekvenci a má NIST přesnost 1%. Jedná se o in-line senzor používaný k ověření RF výstupního výkonu z RF generátorů, přizpůsobení rozsahu impedance a účinnosti jednotky, a pro obecná měření elektroměru. 

Klíčové vlastnosti:

• Automatické přepínání mezi CW a Pulsed RF monitorováním v režimu průměrného času (TAM).
• Reportuje pulzní frekvenci a pracovní cyklus s sub-mikronovou přesností v TAM.
• Časově rozlišený režim s 1 mikrosekundovým rozlišením pro detailní analýzu průběhu.
• 2 varianty použití: samostatně stojící nebo integrace s jakoukoliv software platformou využívající Impedans komunikační protokol. 

Octiv Poly 2.0

Multi-frekvenční in-line RF systém pro měření napětí, proudu a fáze se síťovou komunikací (Ethernet, EtherNet/IP nebo EtherCAT). Vhodný pro efektivní odstranění problémů, jako jsou chyby detekce koncových bodů a nadbytečná preventivní údržba.

Klíčové vlastnosti

• Na výběr z 5 frekvencí v rámci jednoho senzoru s až 15 harmonickými na každé frekvenci.
• Bezkonkurenční přesnost výkonu do impedance zátěže 50 Ω a jiné než 50 Ω díky pokročilé kalibraci s 1% přesností. 
• Opakovatelnost senzoru <0.1%.
• Sledování frekvence s až ± 10% základní frekvencí jako standard, s možností uzpůsobení pro monitorování intermodulační frekvence.

Octiv Suite 2.0

Jeden z nejvíce sofistikovaných RF senzorů na trhu pro měření in-line výkonu a impedance, s bezkonkurenční přesností a funkčností. Jedná se o neinvazivní, in-line senzor určený pro monitorování všech parametrů RF výkonu, jako je například tok iontů. 

Klíčové vlastnosti:

• Na výběr z 5 frekvencí v rámci jednoho senzoru s až 15 harmonickými na každé frekvenci.
• Bezkonkurenční přesnost výkonu do impedance zátěže 50 Ω a jiné než 50 Ω díky pokročilé kalibraci s 1% přesností. 
• Opakovatelnost senzoru <0.1% 
• Jedno a vícefrekvenční napětí se zobrazením průběhu.
• Monitorování toku iontů poskytuje přímou korelaci s mírou leptání a depozice.
• 2 varianty použití: samostatně stojící nebo integrace s jakoukoliv software platformou využívající Impedans komunikační protokol. 

Moduli RF Spectrometer

Radiofrekvenční (RF) detektor, který přímo monitoruje harmonické frekvence generované plazmatem. Je určen pro detekci koncového bodu a poruch na produktech, jako je netěsnost komory, posun waferů a další závažné poruchy plazmatu. 

Klíčové vlastnosti:

• Na výběr z 5 frekvencí v rámci jednoho senzoru s až 15 harmonickými na každé frekvenci.
• Plně neinvazivní - integrace systému je možná bez nutnosti modifikací stávajících systémů.
• USB, Ethernet, EtherCAT se snadnou API a FDC integrací.

Moduli RF Event Detector 

Sofistikovaný all-in-one diagnostický systém pro detekci plazmových oblouků a monitorování RF pulzů. Architektura systému umožňuje zpracování RF měření v reálném čase s mikrosekundovým rozlišením. Je designovaný tak, aby současně detekoval a charakterizoval plazmové oblouky, monitoroval každý RF puls a kontroloval, zda každý puls odpovídá předdefinovaným specifikacím. 

Klíčové vlastnosti:

• 1 μs rozlišení pro plazmové oblouky a atypické pulzy (s přizpůsobitelným filtrem šumu).
• Nastavitelné widgety pro klasifikaci plazmových oblouků a pulzů.
• Monitorování pracovního cyklu, pulsní frekvence a cyklu každého pulsu.
• Reportování deviací od uživatelsky nastavených specifikací.
• ON-OFF a multi-level pulsování (až 3 levely).
• Reportování maxima, minima a průměru proudu a napětí během pulzů.

Alfven | Plasma Arc Detector | Pulsed RF Monitoring

Sofistikovaný all-in-one diagnostický systém pro detekci plazmových oblouků a monitorování RF pulzů. Architektura systému umožňuje zpracování RF měření v reálném čase s mikrosekundovým rozlišením. Je designovaný tak, aby současně detekoval a charakterizoval plazmové oblouky, monitoroval každý RF puls a kontroloval, zda každý puls odpovídá předdefinovaným specifikacím. 

Klíčové vlastnosti:

• 1 μs rozlišení pro plazmové oblouky a atypické pulzy (s přizpůsobitelným filtrem šumu).
• Nastavitelné widgety pro klasifikaci plazmových oblouků a pulzů.
• Monitorování pracovního cyklu, pulsní frekvence a cyklu každého pulsu.
• Reportování deviací od uživatelsky nastavených specifikací.
• ON-OFF a multi-level pulsování (až 3 levely).
• Reportování maxima, minima a průměru proudu a napětí během pulzů.